部分相干干涉显微镜的设计与实验研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-13页 |
| 1.1 微观表面形貌测量的研究背景 | 第7页 |
| 1.2 微观表面形貌测量的方法 | 第7-11页 |
| 1.2.1 微观表面形貌测量的非光学检测方法 | 第7-8页 |
| 1.2.2 微观表面形貌测量的光学检测方法 | 第8-11页 |
| 1.3 干涉显微镜的国内外发展现状 | 第11-12页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容 | 第12页 |
| 1.5 课题来源 | 第12-13页 |
| 2 部分相干干涉显微的基本理论 | 第13-24页 |
| 2.1 部分相干干涉显微的测量原理 | 第13-14页 |
| 2.2 干涉显微物镜的三种结构 | 第14-16页 |
| 2.2.1 Michelson | 第15页 |
| 2.2.2 Mirau | 第15页 |
| 2.2.3 Linnik | 第15-16页 |
| 2.3 干涉显微系统的响应模型 | 第16-23页 |
| 2.3.1 点光源 | 第17-19页 |
| 2.3.2 单色扩展光源 | 第19-20页 |
| 2.3.3 一般情况 | 第20-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 3 Mirau型干涉显微镜的光学结构设计 | 第24-40页 |
| 3.1 干涉显微镜的成像光路设计 | 第24-36页 |
| 3.1.1 显微系统的两种光路结构 | 第24-26页 |
| 3.1.2 镜筒透镜的设计 | 第26-28页 |
| 3.1.3 Mirau型干涉显微物镜的设计 | 第28-36页 |
| 3.2 干涉显微镜的照明光路设计 | 第36-38页 |
| 3.3 光强匹配 | 第38-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 Mirau型干涉显微镜中的色散及仿真分析 | 第40-48页 |
| 4.1 干涉显微镜中的色散 | 第40-42页 |
| 4.2 色散仿真及结果分析 | 第42-47页 |
| 4.3 本章小结 | 第47-48页 |
| 5 Mirau型干涉显微镜的实验研究 | 第48-54页 |
| 5.1 横向分辨率 | 第48页 |
| 5.2 垂直分辨率 | 第48-49页 |
| 5.3 系统实物图及测量分析 | 第49-53页 |
| 5.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 6 总结与展望 | 第54-55页 |
| 6.1 全文总结 | 第54页 |
| 6.2 工作的不足与展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 附录 | 第59页 |
