| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 基于半导体工艺微热再生干燥系统研究现状 | 第9-10页 |
| 1.2 基于半导体工艺微热再生干燥系统控制器研究的意义 | 第10-11页 |
| 1.3 本论文的主要技术创新点 | 第11页 |
| 1.4 本章小结 | 第11-13页 |
| 第2章 基于半导体工艺微热再生干燥系统 | 第13-21页 |
| 2.1 微热再生干燥系统的介绍 | 第13-14页 |
| 2.2 微热再生干燥系统的工作原理 | 第14-15页 |
| 2.3 微热再生干燥系统的工作流程 | 第15-16页 |
| 2.4 吸附剂的选择 | 第16-19页 |
| 2.5 本章小结 | 第19-21页 |
| 第3章 基于半导体工艺微热再生干燥系统的专用控制器 | 第21-29页 |
| 3.1 基于半导体工艺微热再生干燥系统控制器的介绍 | 第21页 |
| 3.2 微热再生干燥系统专用控制器的硬件设计 | 第21-28页 |
| 3.2.1 微热再生干燥系统专用控制器硬件组成 | 第21页 |
| 3.2.2 微热再干燥系统专用控制器采用的关键元器件 | 第21-22页 |
| 3.2.3 微热再生干燥系统专用控制器重要功能的实现原理 | 第22-28页 |
| 3.3 本章小结 | 第28-29页 |
| 第4章 带有专用控制器的微热再生干燥系统 | 第29-39页 |
| 4.1 用常规法控制干燥器工作存在的问题 | 第29页 |
| 4.2 目前微热再生干燥系统控制器的现状 | 第29-30页 |
| 4.3 新型专用控制器的技术创新点 | 第30-34页 |
| 4.3.1 过程自适应优选法干燥控制器的设计与实现 | 第30-32页 |
| 4.3.2 带有自适应控制功能的专用控制器 | 第32-34页 |
| 4.3.3 自适应控制法的优点 | 第34页 |
| 4.4 微热再生干燥系统再生加热的安全控制装置 | 第34-36页 |
| 4.4.1 控温方法 | 第35页 |
| 4.4.2 固态继电器（SSR）的优点 | 第35-36页 |
| 4.4.3 创新的加热器保护技术 | 第36页 |
| 4.5 节能型微热再生干燥系统 | 第36-37页 |
| 4.5.1 工艺流程 | 第36-37页 |
| 4.5.2 工艺原理 | 第37页 |
| 4.6 本章小结 | 第37-39页 |
| 第5章 微热再生干燥系统专用控制器的可靠性分析 | 第39-43页 |
| 5.1 热设计 | 第39页 |
| 5.2 耐环境设计 | 第39页 |
| 5.3 安全保护设计 | 第39页 |
| 5.4 元器件的选型 | 第39-41页 |
| 5.5 元器件的降额 | 第41页 |
| 5.6 电磁兼容 | 第41页 |
| 5.7 专用控制器可靠性失效率预计和可靠度预计 | 第41-42页 |
| 5.8 本章小结 | 第42-43页 |
| 第6章 微热再生干燥系统软件设计 | 第43-47页 |
| 结论 | 第47-49页 |
| 参考文献 | 第49-53页 |
| 致谢 | 第53页 |
