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介电超晶格填充型复合介电纳米周期光栅结构及其制备方法

摘要第6-8页
ABSTRACT第8-9页
第一章 光学表面波与导模共振第10-26页
    1.1 光子晶体/介电超晶格第10-16页
        1.1.1 光子晶体的概念和分类第10-11页
        1.1.2 光子晶体的制备方法第11-13页
        1.1.3 光子晶体带隙第13-16页
    1.2 光子晶体表面波第16-19页
        1.2.1 光子晶体表面波的产生与应用第16-17页
        1.2.2 介电超晶格结构表面波的激发第17-19页
    1.3 导模共振效应第19-22页
        1.3.1 导模共振效应的概念和产生原理第19-20页
        1.3.2 导模共振效应的应用第20-22页
    1.4 填充型纳米周期光栅结构第22-23页
    1.5 本文研究的目的和意义第23-24页
    参考文献第24-26页
第二章 导模共振与严格耦合波方法第26-32页
    2.1 导模共振的理论研究方法第26页
    2.2 严格耦合波理论(Rigorous Coupled-Wave Analysis,RCWA)第26-30页
        2.2.1 理论内容和适用范围第26-27页
        2.2.2 耦合波分析方法第27-30页
    参考文献第30-32页
第三章 介电超晶格/填充型纳米周期光栅复合结构的光学特性第32-52页
    3.1 介电超晶格/填充型纳米周期光栅复合结构第32-35页
        3.1.1 纳米复合介电结构简介第32-33页
        3.1.2 复合纳米介电结构的特性第33-35页
    3.2 理论模拟与结构设计第35-48页
        3.2.1 导模共振透射异常现象及场分布第35-37页
        3.2.2 多层膜结构参数对光子晶体禁带的影响第37-41页
            3.2.2.1 多层膜材料对光子晶体禁带的影响第37-39页
            3.2.2.2 多层膜周期数对光子晶体禁带的影响第39-40页
            3.2.2.3 多层膜厚度对光子晶体禁带的影响第40-41页
        3.2.3 复合介电光栅结构参数对表面波激发的影响第41-48页
            3.2.3.1 光栅周期对表面波激发的影响第41-45页
            3.2.3.2 光栅高度对表面波激发的影响第45-46页
            3.2.3.3 光栅占空比对表面波激发的影响第46-47页
            3.2.3.4 光栅层材料组合对表面波激发的影响第47-48页
    3.3 性能优化第48-49页
    3.4 小结第49-51页
    参考文献第51-52页
第四章 介电超晶格/填充型纳米周期光栅复合结构制备方法与结构性能测试表征第52-70页
    4.1 复合结构的制备第52-67页
        4.1.1 介电超晶格的实验室制备第52-57页
        4.1.2 介电超晶格/填充型纳米周期光栅复合结构的制备流程第57-61页
            4.1.2.1 纳米压印工艺简介第57-59页
            4.1.2.2 复合结构制备流程第59-61页
        4.1.3 制备过程和结果第61-66页
        4.1.4 误差分析第66-67页
    4.2 小结第67-69页
    参考文献第69-70页
第五章 结论与展望第70-72页
攻读硕士学位期间论文发表及专利申请第72-74页
致谢第74-75页

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