TFT-LCD的Mura缺陷检测技术研究
致谢 | 第7-8页 |
摘要 | 第8-9页 |
abstract | 第9-10页 |
第一章 绪论 | 第16-21页 |
1.1 引言 | 第16页 |
1.2 课题来源 | 第16-17页 |
1.3 TFT-LCD简介 | 第17页 |
1.4 国内外研究现状 | 第17-19页 |
1.5 课题目的及意义 | 第19页 |
1.6 论文主要内容 | 第19-21页 |
第二章 Mura缺陷及种类 | 第21-26页 |
2.1 Mura缺陷定义 | 第21页 |
2.2 Mura的成因 | 第21-22页 |
2.2.1 彩色滤光片(CF)制程 | 第21页 |
2.2.2 TFT制程 | 第21页 |
2.2.3 Cell制程 | 第21-22页 |
2.2.4 LCM制程 | 第22页 |
2.2.5 人为因素 | 第22页 |
2.3 Mura的检验方法 | 第22页 |
2.4 Mura的分类 | 第22-25页 |
2.5 本章小结 | 第25-26页 |
第三章 曲面拟合去除背景 | 第26-38页 |
3.1 引言 | 第26页 |
3.2 图像去噪 | 第26-29页 |
3.2.1 图像噪声来源 | 第26-27页 |
3.2.2 去噪方法研究 | 第27-29页 |
3.3 多项式曲面拟合 | 第29-32页 |
3.3.1 二元多项式拟合的引出 | 第29页 |
3.3.2 基于最小二乘法的二元多项式拟合 | 第29-32页 |
3.4 B样条曲面拟合 | 第32-37页 |
3.4.1 B样条的定义与性质 | 第32-33页 |
3.4.2 双三次B样条曲面 | 第33-35页 |
3.4.3 控制顶点的数据压缩 | 第35-36页 |
3.4.4 曲面最小二乘光顺拟合 | 第36-37页 |
3.5 本章小结 | 第37-38页 |
第四章 图像对比度增强及分割量化评定 | 第38-46页 |
4.1 引言 | 第38页 |
4.2 对比度增强 | 第38-44页 |
4.2.1 线性变换增强 | 第38-39页 |
4.2.2 非线性变换增强 | 第39-41页 |
4.2.3 增益偏移的对比度增强 | 第41页 |
4.2.4 非线性的分段变换增强 | 第41-42页 |
4.2.5 最大类间方差的双γ分段指数变换 | 第42-44页 |
4.3 图像缺陷分割 | 第44页 |
4.3.1 Canny边缘检测算子 | 第44页 |
4.3.2 最大类间方差法阈值分割 | 第44页 |
4.4 缺陷量化评定 | 第44-45页 |
4.5 本章小结 | 第45-46页 |
第五章 TFT-LCD的Mura缺陷检测实验 | 第46-70页 |
5.1 引言 | 第46-48页 |
5.1.1 检测算法平台 | 第46-47页 |
5.1.2 待检样本 | 第47-48页 |
5.2 Mura缺陷检测实验与结果分析 | 第48-68页 |
5.2.1 图像去噪实验 | 第48页 |
5.2.2 曲面拟合去除背景实验 | 第48-61页 |
5.2.3 对比度增强与缺陷分割实验 | 第61-65页 |
5.2.4 缺陷量化评价实验 | 第65-68页 |
5.3 Mura缺陷检测流程及实验结果 | 第68-69页 |
5.3.1 缺陷检测流程 | 第68页 |
5.3.2 Mura缺陷检测实验 | 第68-69页 |
5.4 本章小结 | 第69-70页 |
第六章 总结和展望 | 第70-72页 |
6.1 课题总结 | 第70-71页 |
6.2 课题展望 | 第71-72页 |
参考文献 | 第72-75页 |
攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第75-76页 |