| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题概述 | 第10-11页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第10-11页 |
| 1.1.2 课题的背景和意义 | 第11页 |
| 1.2 论文研究的背景与意义 | 第11-12页 |
| 1.3 微动平台国内外研究现状 | 第12-17页 |
| 1.3.1 压电陶瓷驱动器研究现状 | 第12页 |
| 1.3.2 微动平台执行器研究现状 | 第12-17页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第17-20页 |
| 第2章 微纳定位平台总体方案设计 | 第20-28页 |
| 2.1 微纳定位平台系统的结构 | 第20页 |
| 2.2 微纳定位平台驱动器及其特点 | 第20-21页 |
| 2.3 微纳定位平台结构方案 | 第21-24页 |
| 2.3.1 微纳定位平台执行机构及其特点 | 第21-22页 |
| 2.3.2 放大机构确定 | 第22页 |
| 2.3.3 导向机构确定 | 第22-24页 |
| 2.4 微纳驱动系统的检测方法 | 第24-25页 |
| 2.5 微纳定位平台控制方法 | 第25-26页 |
| 2.6 本章小结 | 第26-28页 |
| 第3章 微纳定位平台设计计算 | 第28-42页 |
| 3.1 柔性铰链的刚度分析 | 第29-33页 |
| 3.2 微纳定位平台的输出位移分析 | 第33-39页 |
| 3.3 微纳定位平台的固有频率分析 | 第39-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-42页 |
| 第4章 压电陶瓷特性分析及控制方法研究 | 第42-52页 |
| 4.1 压电陶瓷驱动器工作原理 | 第42-44页 |
| 4.2 压电陶瓷驱动器的基本特性 | 第44-47页 |
| 4.2.1 电容特性 | 第44页 |
| 4.2.2 迟滞特性 | 第44-45页 |
| 4.2.3 蠕变特性 | 第45-46页 |
| 4.2.4 非线性特性 | 第46-47页 |
| 4.2.5 温度特性 | 第47页 |
| 4.3 压电陶瓷驱动器的数学模型 | 第47-48页 |
| 4.4 PID控制算法 | 第48-50页 |
| 4.4.1 常规PID控制算法 | 第48-49页 |
| 4.4.2 数字PID控制算法 | 第49-50页 |
| 4.5 仿真结果及分析 | 第50-51页 |
| 4.6 本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 微纳定位平台控制方法研究 | 第52-64页 |
| 5.1 微纳定位平台系统的数学模型 | 第52-54页 |
| 5.1.1 微纳定位平台的数学模型 | 第52-53页 |
| 5.1.2 驱动系统的数学模型 | 第53页 |
| 5.1.3 压电陶瓷驱动的微纳定位平台系统传递函数 | 第53-54页 |
| 5.2 ADAMS和Matlab联合仿真 | 第54-62页 |
| 5.2.1 联合仿真概述及步骤 | 第54-55页 |
| 5.2.2 联合仿真的实现 | 第55-62页 |
| 5.3 本章小结 | 第62-64页 |
| 第6章 结论与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 结论 | 第64页 |
| 6.2 展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 致谢 | 第70-72页 |
| 作者简介 | 第72页 |