| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1. 绪论 | 第7-16页 |
| 1.1 非球面检测的研究意义 | 第7-8页 |
| 1.2 光学非球面检测方法概述 | 第8-11页 |
| 1.2.1 零位检测 | 第8-10页 |
| 1.2.2 非零位检测 | 第10-11页 |
| 1.3 轴向扫描光干涉法检测非球面的历史及发展现状 | 第11-14页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第14-16页 |
| 2. 非球面的基本参数及轴上扫描检测原理 | 第16-28页 |
| 2.1 非球面的解析表征方法 | 第16页 |
| 2.2 非球面的基本参数 | 第16-20页 |
| 2.2.1 非球面的最佳拟合球 | 第16-18页 |
| 2.2.2 非球面度和陡度 | 第18-19页 |
| 2.2.3 非球面的散焦范围和法线像差 | 第19-20页 |
| 2.2.4 非球面的F数 | 第20页 |
| 2.3 利用轴向扫描的光干涉法检测非球面 | 第20-27页 |
| 2.3.1 检测的基本原理 | 第20-21页 |
| 2.3.2 测量范围限制因素 | 第21-22页 |
| 2.3.3 非球面扫描路径的划分 | 第22-23页 |
| 2.3.4 相位连接算法重建非球面面形 | 第23-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 3 干涉追迹模型的搭建与算法仿真 | 第28-48页 |
| 3.1 光的干涉理论和斐索干涉模型 | 第28-29页 |
| 3.2 基于光线追迹的斐索动态干涉模型搭建 | 第29-36页 |
| 3.2.1 光线追迹基本理论介绍 | 第29-30页 |
| 3.2.2 MATLAB与ZEMAX通信过程 | 第30-31页 |
| 3.2.3 动态追迹模型的搭建 | 第31-36页 |
| 3.3 移相干涉术与相位解包 | 第36-37页 |
| 3.4 干涉图零位环带的提取 | 第37-42页 |
| 3.4.1 泽尼克多项式基本理论 | 第37-41页 |
| 3.4.3 正割法迭代求解干涉零位 | 第41-42页 |
| 3.5 相位连接算法重建非球面面形 | 第42-47页 |
| 3.6 本章小结 | 第47-48页 |
| 4 轴上扫描光干涉法检测非球面实验研究 | 第48-56页 |
| 4.1 实验方案 | 第48-54页 |
| 4.1.1 实验光路组成 | 第48页 |
| 4.1.2 实验装置介绍 | 第48-51页 |
| 4.1.3 实验实施 | 第51-54页 |
| 4.2 实验结果分析 | 第54-55页 |
| 4.3 本章小结 | 第55-56页 |
| 5 总结与展望 | 第56-58页 |
| 5.1 工作总结 | 第56-57页 |
| 5.2 有待解决的问题 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 附录 | 第63页 |