| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-15页 |
| 1.1 选题背景和意义 | 第7-8页 |
| 1.2 MEMS惯性开关研究现状 | 第8-13页 |
| 1.2.1 国内研究现状 | 第9-11页 |
| 1.2.2 国外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第13-15页 |
| 2 MEMS接电惯性开关性能测试与可靠性分析 | 第15-32页 |
| 2.1 MEMS接电惯性开关应用环境与性能要求 | 第15-18页 |
| 2.1.1 引信环境力分析 | 第15-16页 |
| 2.1.2 MEMS接电惯性开关性能要求 | 第16-18页 |
| 2.2 MEMS接电惯性开关静态性能测试 | 第18-23页 |
| 2.2.1 MEMS接电惯性开关几何尺寸测量 | 第19-20页 |
| 2.2.2 S型弹簧力学性能测试 | 第20-23页 |
| 2.3 MEMS接电惯性开关动态性能测试 | 第23-26页 |
| 2.3.1 高速离心机实验 | 第23-24页 |
| 2.3.2 马希特落锤实验 | 第24-26页 |
| 2.4 MEMS接电惯性开关可靠性分析 | 第26-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 MEMS微结构动态特性的尺寸效应 | 第32-43页 |
| 3.1 应变梯度理论 | 第32-33页 |
| 3.2 微梁尺寸效应 | 第33-40页 |
| 3.2.1 微梁尺寸效应模型 | 第34-35页 |
| 3.2.2 高冲击下微梁弯曲特性尺寸效应 | 第35-38页 |
| 3.2.3 微悬臂梁固有频率的尺寸效应 | 第38-40页 |
| 3.3 MEMS微结构动态特性尺寸效应 | 第40-42页 |
| 3.3.1 MEMS惯性开关动态响应位移尺寸效应模型 | 第40-41页 |
| 3.3.2 MEMS接电惯性开关动态响应位移尺寸效应 | 第41-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 4 MEMS微结构粗糙表面电接触研究 | 第43-55页 |
| 4.1 MEMS接电惯性开关表面接触分析 | 第43-45页 |
| 4.2 粗糙表面黏着接触研究 | 第45-49页 |
| 4.2.1 探测识别机构黏着接触模型 | 第45-48页 |
| 4.2.2 闭锁接电机构黏着接触模型 | 第48页 |
| 4.2.3 闭锁接电机构接触面粗糙度测试 | 第48-49页 |
| 4.3 高冲击下MEMS微结构表面摩擦分析 | 第49-50页 |
| 4.4 闭锁接电机构表面接触导电性能研究 | 第50-54页 |
| 4.4.1 高冲击下微观导电模式 | 第51页 |
| 4.4.2 闭锁接电机构电阻特性 | 第51-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 5 MEMS微结构数值模拟分析 | 第55-71页 |
| 5.1 高冲击下MEMS微结构阻尼分析 | 第55-59页 |
| 5.1.1 气体阻尼模型 | 第55-58页 |
| 5.1.2 等效结构阻尼 | 第58-59页 |
| 5.2 阻尼对MEMS微结构动态特性的影响 | 第59-62页 |
| 5.2.1 基于Simulink高冲击下MEMS微结构动态特性 | 第59-60页 |
| 5.2.2 阻尼延时控制理论 | 第60-62页 |
| 5.3 几何尺寸对MEMS微结构动态特性的影响 | 第62-66页 |
| 5.3.1 几何尺寸对S型弹簧刚度系数的影响 | 第62-64页 |
| 5.3.2 几何尺寸对MEMS微结构固有频率的影响 | 第64-66页 |
| 5.4 MEMS接电惯性开关动态特性数值模拟分析 | 第66-70页 |
| 5.4.1 MEMS微结构模态分析 | 第66-68页 |
| 5.4.2 瞬态响应位移分析 | 第68-70页 |
| 5.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 6 总结与展望 | 第71-74页 |
| 6.1 总结 | 第71-72页 |
| 6.2 创新点 | 第72页 |
| 6.3 展望 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 附录 | 第79页 |
