| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| ·课题来源及背景 | 第9-10页 |
| ·纳米多层膜制备技术 | 第10-12页 |
| ·薄膜生长理论的研究现状 | 第12-18页 |
| ·薄膜生长模式的研究 | 第12-14页 |
| ·薄膜沉积质量的研究 | 第14-18页 |
| ·纳米薄膜变形行为的分子动力学研究现状 | 第18-19页 |
| ·本课题研究内容、目的和意义 | 第19-21页 |
| 第2章 双层膜沉积分子动力学模拟的关键问题及模型建立 | 第21-31页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·双层膜沉积分子动力学模拟关键问题的处理 | 第21-26页 |
| ·运动方程 | 第21-22页 |
| ·原子的势能函数 | 第22-24页 |
| ·边界条件 | 第24-25页 |
| ·系统温度控制 | 第25-26页 |
| ·分子动力学模拟过程的步骤 | 第26页 |
| ·薄膜沉积的物理模型 | 第26-28页 |
| ·薄膜沉积质量的分析方法 | 第28-30页 |
| ·表面质量 | 第28-29页 |
| ·界面质量 | 第29-30页 |
| ·生长模式 | 第30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 Cu/Ag双层膜沉积分子动力学模拟与实验研究 | 第31-55页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·Cu/Ag双层膜沉积模拟方案 | 第31-32页 |
| ·薄膜生长过程分析 | 第32-38页 |
| ·沉积薄膜结构 | 第32-34页 |
| ·薄膜层的覆盖率 | 第34-38页 |
| ·表面原子的平均动能 | 第38-40页 |
| ·薄膜表面质量分析 | 第40-44页 |
| ·沉积能量对表面质量的影响 | 第40-41页 |
| ·基体温度对表面质量的影响 | 第41-42页 |
| ·入射角度对表面质量的影响 | 第42-43页 |
| ·多参数表面质量分析 | 第43-44页 |
| ·薄膜界面混合情形分析 | 第44-46页 |
| ·薄膜应力分析 | 第46-48页 |
| ·Cu/Ag(111)三角形位构型的演变 | 第48-49页 |
| ·Cu/Ag双层膜的制备与表征 | 第49-53页 |
| ·Cu/Ag双层膜的制备 | 第49-50页 |
| ·Cu/Ag双层膜表面晶粒度分析 | 第50-51页 |
| ·Cu/Ag双层膜afm微区表面形貌分析 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第4章 Cu/Ag双层膜拉伸变形的分子动力学模拟 | 第55-68页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·模型的建立与分析参数的选取 | 第55-57页 |
| ·模型与模拟方案 | 第55-56页 |
| ·中心对称参数 | 第56-57页 |
| ·Cu/Ag双层膜变形弛豫的演变过程 | 第57-64页 |
| ·层错形核、发展过程 | 第57-59页 |
| ·表面形态 | 第59-60页 |
| ·微观结构 | 第60-62页 |
| ·原子分数统计 | 第62-64页 |
| ·应变速率对Cu/Ag双层膜变形的影响 | 第64-66页 |
| ·温度对Cu/Ag双层膜变形的影响 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-75页 |
| 致谢 | 第75页 |