| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第1章 引言 | 第9-16页 |
| ·TCO薄膜简介 | 第9-10页 |
| ·AZO薄膜简介 | 第10-12页 |
| ·AZO薄膜的制备 | 第12-14页 |
| ·磁控溅射法制备AZO薄膜原理 | 第13-14页 |
| ·溶胶凝胶法制备AZO薄膜原理 | 第14页 |
| ·钙钛矿型太阳能电池背景 | 第14-15页 |
| ·课题研究内容及研究目标 | 第15-16页 |
| 第2章 直流磁控溅射法制备AZO薄膜 | 第16-26页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·主要原料 | 第16页 |
| ·设备 | 第16页 |
| ·AZO薄膜的制备与检测 | 第16-18页 |
| ·溅射AZO薄膜 | 第16-17页 |
| ·AZO薄膜的退火处理 | 第17页 |
| ·AZO薄膜的表征 | 第17-18页 |
| ·AZO薄膜的性质 | 第18-24页 |
| ·本底真空气压对AZO薄膜性能的影响 | 第18-19页 |
| ·溅射电流对AZO薄膜性能的影响 | 第19-21页 |
| ·退火处理对磁控溅射法制备AZO薄膜性能的影响 | 第21-23页 |
| ·磁控溅射法制备AZO薄膜的形貌 | 第23-24页 |
| ·磁控溅射法制备AZO薄膜的透光性 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-26页 |
| 第3章 溶胶凝胶法制备AZO薄膜 | 第26-50页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·主要原料 | 第26页 |
| ·仪器设备 | 第26-27页 |
| ·AZO薄膜的制备与检测 | 第27-30页 |
| ·制备AZO薄膜 | 第27-29页 |
| ·AZO薄膜的退火处理 | 第29页 |
| ·AZO薄膜的表征 | 第29-30页 |
| ·AZO薄膜的性质 | 第30-49页 |
| ·AZO溶胶热重（DSC-TGA）分析 | 第30-32页 |
| ·不同预热处理温度对AZO薄膜性能的影响 | 第32-33页 |
| ·不同单层膜厚度对AZO薄膜性能的影响 | 第33页 |
| ·不同退火温度对AZO薄膜性能的影响 | 第33-38页 |
| ·不同Al~(3+)掺杂含量对AZO薄膜性能的影响 | 第38-43页 |
| ·不同热处理放置方式对AZO薄膜的性能的影响 | 第43-47页 |
| ·AZO薄膜的透射电镜图像 | 第47-48页 |
| ·溶胶凝胶法和磁控溅射法制备的AZO薄膜比较 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 基于AZO薄膜的钙钛矿型太阳能电池 | 第50-58页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·主要原料 | 第50页 |
| ·仪器设备 | 第50页 |
| ·AZO薄膜能级的表征 | 第50-53页 |
| ·AZO薄膜的禁带宽度 | 第50-52页 |
| ·AZO薄膜的导带位置 | 第52-53页 |
| ·氧化锌纳米棒的生长 | 第53-54页 |
| ·电池的组装 | 第54-55页 |
| ·电池性能测试 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第5章 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第64页 |