掩模板在线更换系统误差分析与优化
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| ·课题研究的背景与意义 | 第9-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-14页 |
| ·主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 掩模板在线更换系统总体设计与实现 | 第15-29页 |
| ·掩模板在线更换系统可行性分析 | 第15-18页 |
| ·机械结构设计 | 第18-24页 |
| ·SolidWorks 软件介绍 | 第18-19页 |
| ·设备总支撑设计 | 第19-20页 |
| ·转盘模块设计 | 第20-21页 |
| ·机械手模块设计 | 第21-22页 |
| ·二维位移平台模块设计 | 第22-23页 |
| ·让丝机构模块设计 | 第23-24页 |
| ·控制系统设计 | 第24-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 掩模板在线更换系统误差分析 | 第29-60页 |
| ·误差的基本概念 | 第29-30页 |
| ·误差的定义 | 第29页 |
| ·误差的分类 | 第29-30页 |
| ·相位掩模板在线更换系统误差来源 | 第30-32页 |
| ·相位掩模板在线更换系统误差分析 | 第32-36页 |
| ·系统主要误差分析 | 第32页 |
| ·作用线增量法基本原理 | 第32-36页 |
| ·蜗轮蜗杆减速机构引起的误差 | 第36-42页 |
| ·蜗杆啮合方程 | 第36-37页 |
| ·蜗杆传动误差分析 | 第37-42页 |
| ·滚珠丝杠传动副引起的误差 | 第42-50页 |
| ·滚珠丝杠副原理及特点 | 第42-43页 |
| ·滚珠丝杠的传动效率 | 第43-44页 |
| ·滚珠丝杠副载荷计算 | 第44-45页 |
| ·滚珠丝杠传动误差分析 | 第45-50页 |
| ·相位掩模板在线更换系统振动误差分析 | 第50-57页 |
| ·ANSYS 模态分析理论介绍 | 第50-52页 |
| ·转盘振动误差分析 | 第52-55页 |
| ·滚珠丝杠振动误差分析 | 第55-57页 |
| ·滚珠丝杠快速进给引起的冲击误差分析 | 第57-59页 |
| ·PLC 控制滚珠丝杠进给运动的实现 | 第57页 |
| ·滚珠丝杠快速进给引起的冲击误差分析 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第4章 掩模板在线更换系统误差补偿与优化 | 第60-67页 |
| ·误差补偿技术 | 第60-61页 |
| ·掩模板在线更换系统误差补偿与优化 | 第61页 |
| ·蜗轮蜗杆减速机构误差补偿与优化分析 | 第61-64页 |
| ·软件补偿法 | 第61-63页 |
| ·硬件补偿法 | 第63-64页 |
| ·滚珠丝杠螺母副误差补偿与优化分析 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第5章 总结与展望 | 第67-69页 |
| ·全文总结 | 第67-68页 |
| ·研究展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-72页 |
