电热式MEMS微镜驱动控制技术研究
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| ·研究背景与意义 | 第10-13页 |
| ·研究现状 | 第13-17页 |
| ·概述 | 第13页 |
| ·MEMS微镜分类 | 第13-16页 |
| ·静电式 | 第14页 |
| ·压电式 | 第14-15页 |
| ·电磁式 | 第15页 |
| ·电热式 | 第15-16页 |
| ·MEMS微镜控制与应用 | 第16-17页 |
| ·本文主要工作内容 | 第17-18页 |
| ·本文结构 | 第18-19页 |
| 第二章 电热式MEMS微镜 | 第19-23页 |
| ·概述 | 第19-20页 |
| ·双层结构电热式微镜 | 第20-21页 |
| ·器件设计与分析方法 | 第21-23页 |
| 第三章 MEMS微镜模型解析方法 | 第23-32页 |
| ·微镜偏转的有关问题 | 第23-24页 |
| ·微镜系统静态模型 | 第24-29页 |
| ·形变与温度关系 | 第24-25页 |
| ·温度与驱动电压关系 | 第25-27页 |
| ·驱动器间机械受力形变 | 第27-29页 |
| ·微镜系统数学模型 | 第29页 |
| ·模型验证与分析 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 数据模型控制方法 | 第32-42页 |
| ·扫描原理 | 第32页 |
| ·微镜静态偏转特性 | 第32-35页 |
| ·角度扫描测量 | 第32-33页 |
| ·驱动器高度的定点测量 | 第33-34页 |
| ·驱动器性能问题 | 第34-35页 |
| ·数据模型识别与建模 | 第35-41页 |
| ·识别和静态建模 | 第35-37页 |
| ·基于静态模型控制方法 | 第37-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第五章 微镜残余振动的抑制 | 第42-49页 |
| ·电热式MEMS微镜的残余振动 | 第42页 |
| ·电热式MEMS微镜动态系统模型 | 第42-45页 |
| ·电热动态模型 | 第42-43页 |
| ·机械动态模型 | 第43-44页 |
| ·电-热-机械模型 | 第44-45页 |
| ·模型验证 | 第45-46页 |
| ·ZVD算法控制 | 第46-48页 |
| ·ZVD算法 | 第46-47页 |
| ·ZVD仿真 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第六章 微镜光栅扫描控制 | 第49-56页 |
| ·光栅扫描振动问题 | 第49-50页 |
| ·模型识别与开环控制方法 | 第50-55页 |
| ·模型识别 | 第50-53页 |
| ·状态空间方法 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第七章 MEMS微镜控制系统的设计与实现 | 第56-61页 |
| ·系统结构设计 | 第56页 |
| ·硬件设计 | 第56-58页 |
| ·MCU模块设计 | 第56-57页 |
| ·DA模块设计 | 第57页 |
| ·滤波模块设计 | 第57-58页 |
| ·电源模块 | 第58页 |
| ·软件设计 | 第58-59页 |
| ·PCB版图与实物图 | 第59-61页 |
| 第八章 测试结果与数据分析 | 第61-67页 |
| ·基于数据模型的微镜扫描纠正测试结果 | 第61-63页 |
| ·测试方案 | 第61-62页 |
| ·测试结果与分析 | 第62-63页 |
| ·残余振动的抑制 | 第63-64页 |
| ·测试方案 | 第63-64页 |
| ·测试结果与分析 | 第64页 |
| ·微镜扫描振动控制与OCT成像效果 | 第64-66页 |
| ·测试方案 | 第65页 |
| ·测试结果与分析 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第九章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻读硕士学位期间公开发表的论文 | 第72-73页 |
| 附录 | 第73-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
