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基于主动支撑技术的薄主镜低阶面形误差校正研究

致谢第1-4页
摘要第4-5页
ABSTRACT第5-9页
第一章 绪论第9-28页
   ·引言第9-13页
     ·主动光学的意义和背景第9-11页
     ·主动光学原理第11-13页
   ·国内外发展现状第13-22页
   ·加工中主动支撑系统的关键技术第22-27页
     ·基于主动支撑技术的低阶面形误差量化描述第23-25页
     ·修正力求解方法第25-27页
   ·论文的研究方法和研究内容第27-28页
第二章 1.2M 薄主镜加工中的主动支撑系统第28-36页
   ·引言第28页
   ·加工中的主动支撑系统工作原理第28-30页
   ·支撑排布的优化设计第30-31页
   ·加工中的气压驱动支撑装置第31-32页
   ·机械结构设计第32-33页
   ·控制系统设计第33-35页
   ·求解修正力算法设计第35页
   ·本章小结第35-36页
第三章 薄主镜低阶面形误差校正的数学模型第36-41页
   ·引言第36页
   ·修正力计算的数学模型第36-37页
   ·响应矩阵的计算第37-38页
   ·拟合误差对求解修正力的影响第38-39页
   ·满足“合力”和“合力矩”为零的约束算法第39-40页
   ·本章小结第40-41页
第四章 1.2M 薄主镜低阶面形误差校正的有限元计算分析第41-52页
   ·拟合误差对求解修正力的影响第41-44页
   ·精度对收敛的影响第44-45页
   ·有限元计算 ZERNIKE 模式变形和应力分布分析第45-48页
     ·Zernike 模式变形第45-46页
     ·修正力分布和应力影响第46-48页
   ·37 组基变形求解修正力的局限性第48-49页
   ·基变形对响应矩阵的影响第49-50页
   ·本章小结第50-52页
第五章 4M 主镜检测中各支撑点之间的力耦合调节算法第52-61页
   ·引言第52页
   ·自重力作用下最优支撑力设计第52-56页
   ·4M 主镜力耦合问题第56-57页
   ·力耦合算法验证试验第57-59页
     ·验证前两点假设第57-58页
     ·实验验证与结论第58-59页
   ·本章小结第59-61页
第六章 总结与展望第61-63页
   ·主要研究内容和结论第61-62页
   ·本文的创新点第62页
   ·工作展望第62-63页
参考文献第63-66页
作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果第66-67页

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