基于分子动力学单晶锗的切削加工工艺研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
第一章 绪论	第8-15页
·发展超精密加工技术及纳米加工技术的重要意义	第8-9页
·硬脆性材料超精密加工国内外发展现状	第9-12页
·分子动力学仿真切削过程研究现状	第12-13页
·本课题研究的主要内容	第13-15页
第二章 单晶锗典型晶面工艺分析	第15-32页
·锗晶体的物理化学性质概述	第15页
·单晶锗晶体结构及力学特性分析	第15-17页
·单晶锗晶体的解理现象	第17-20页
·单晶锗临界切削深度的预测	第20-22页
·单晶锗中周期键链(PBC)	第22-25页
·具有最佳切削特性晶面分析	第25-32页
第三章 运用分子动力学对单晶锗压痕过程仿真	第32-45页
·分子动力学仿真的基本思想和理论基础	第32-34页
·给定系统的初始条件	第34页
·计算初始条件的设定	第34-36页
·边界条件	第36-37页
·势能函数的选择	第37-38页
·系综的选择	第38页
·纳米切削过程分子动力学模拟流程图	第38-39页
·压痕分子动力学仿真	第39-45页
第四章 运用分子动力学对单晶锗切削过程仿真	第45-58页
·运用分子动力学建立切削模型	第45-46页
·不同的切削厚度对表面质量的影响	第46-51页
·不同前角对表面质量的影响	第51-53页
·不同的切削速度对表面质量的影响	第53-55页
·不同的晶面、晶向对切削的影响	第55-58页
第五章 高精度数控二维转台定位误差分析	第58-64页
·二维转台定位误差数学模型建立	第58-60页
·建立不规则转鼓的平面方程	第60-61页
·数控精密转台的定位误差计算及分析	第61-64页
结论和展望	第64-65页
致谢	第65-66页
参考文献	第66-68页