基于波面拟合法面形偏差检测技术研究
| 中文摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-5页 |
| 中文文摘 | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·课题的来源及论文研究的意义 | 第10-11页 |
| ·国内外发展状况 | 第11-12页 |
| ·国内的研究现状 | 第11-12页 |
| ·国外的研究情况 | 第12页 |
| ·论文主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第二章 光学检测方法与面形偏差评价方法 | 第14-24页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·三种典型光学检测方法简介 | 第14-17页 |
| ·星点检测法 | 第14页 |
| ·刀口阴影检测法 | 第14-16页 |
| ·干涉检测法 | 第16-17页 |
| ·面形偏差的主要评价指标 | 第17-20页 |
| ·面形偏差 | 第17-18页 |
| ·波面偏差的表示方法 | 第18页 |
| ·最大峰谷值与均方根值之间的关系 | 第18-19页 |
| ·最大峰谷值与光圈数之间的关系 | 第19-20页 |
| ·波面面形的手工判断 | 第20-21页 |
| ·条纹法数字波面的获取方法 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-24页 |
| 第三章 干涉条纹图像的获取与数字化处理 | 第24-42页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·干涉仪的原理与结构 | 第24-26页 |
| ·干涉条纹图像的采集 | 第26-28页 |
| ·干涉图像的预处理 | 第28-32页 |
| ·干涉图对比度增强 | 第28页 |
| ·图像的空域滤波增强 | 第28-30页 |
| ·干涉图像的二值化 | 第30-31页 |
| ·干涉图像的数学形态学处理 | 第31-32页 |
| ·干涉图像骨架提取 | 第32-34页 |
| ·细化的概念 | 第32页 |
| ·细化的基本定义 | 第32-33页 |
| ·ZS并行细化算法原理 | 第33页 |
| ·LW并行细化算法原理 | 第33-34页 |
| ·EPTA并行细化算法原理 | 第34页 |
| ·干涉图的EPTA细化 | 第34页 |
| ·骨架图像的修复 | 第34-38页 |
| ·干涉条纹跟踪标记 | 第38-39页 |
| ·采样 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 波面拟合与面形偏差计算 | 第42-56页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·基于Zernike多项式的波面拟合 | 第42-49页 |
| ·Zernike多项式 | 第42-43页 |
| ·Zernike多项式波面拟合的理论基础 | 第43-45页 |
| ·Zernike多项式波面拟合 | 第45-46页 |
| ·面形参数的计算与分析 | 第46-49页 |
| ·基于插值法的波面拟合 | 第49-54页 |
| ·基于插值法波面拟合的原理与方法 | 第49-51页 |
| ·插值法波面拟合 | 第51-52页 |
| ·面形参数的计算与分析 | 第52-54页 |
| ·拟合结论 | 第54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第五章 总结与展望 | 第56-58页 |
| ·总结 | 第56-57页 |
| ·展望 | 第57-58页 |
| 附录 Zernike多项式前28项 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 攻读学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
| 个人简历 | 第68-70页 |
