盘结构振动的MEMS谐振器关键技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·MEMS 微机电系统的概述 | 第10-13页 |
| ·微机械系统的组成 | 第10页 |
| ·微系统的特点 | 第10-12页 |
| ·微系统的应用及前景 | 第12-13页 |
| ·射频 MEMS 简述 | 第13-14页 |
| ·MEMS 谐振器概述 | 第14-17页 |
| ·MEMS 谐振器简介 | 第14页 |
| ·MEMS 谐振器特点 | 第14-15页 |
| ·MEMS 谐振器的应用 | 第15-16页 |
| ·MEMS 谐振器的研究的意义 | 第16-17页 |
| ·论文主要研究内容及工作安排 | 第17-18页 |
| 第2章 MEMS 谐振器件 | 第18-28页 |
| ·MEMS 谐振器的参数 | 第18-22页 |
| ·中心频率 | 第18页 |
| ·能量转换效率 | 第18页 |
| ·品质因数 | 第18-22页 |
| ·MEMS 谐振器分类 | 第22-25页 |
| ·梁式 MEMS 谐振器 | 第22-23页 |
| ·梳状 MEMS 谐振器 | 第23页 |
| ·盘式 MEMS 谐振器 | 第23-24页 |
| ·盘阵列 MEMS 谐振器 | 第24-25页 |
| ·MEMS 谐振器件产品 | 第25-27页 |
| ·Discera 简介 | 第25-26页 |
| ·MEMS 谐振器的产品 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 盘谐振器振动冲击环境下的理论分析 | 第28-46页 |
| ·不考虑盘本身形变时的可靠性分析 | 第28-36页 |
| ·静态信号作用下的可靠性分析 | 第29-32页 |
| ·阶跃信号作用下的可靠性分析 | 第32-35页 |
| ·脉冲信号作用下的可靠性分析 | 第35-36页 |
| ·考虑盘本身形变时的可靠性分析 | 第36-45页 |
| ·刚体的形变 | 第37-39页 |
| ·静态信号作用下的可靠性分析 | 第39-42页 |
| ·阶跃信号作用下的可靠性分析 | 第42-44页 |
| ·脉冲信号作用下的可靠性分析 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 盘谐振器可靠性分析的仿真 | 第46-58页 |
| ·有限元仿真 | 第46-49页 |
| ·ANSYS 软件简介 | 第46-47页 |
| ·模态分析 | 第47-49页 |
| ·ANSYS 仿真及分析 | 第49-57页 |
| ·静态信号的仿真分析 | 第51-53页 |
| ·阶跃信号的仿真分析 | 第53-55页 |
| ·脉冲信号的仿真分析 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 MEMS 阵列谐振器的偏移量仿真 | 第58-68页 |
| ·MEMS 盘阵列谐振器 | 第58-63页 |
| ·ANSYS 仿真 | 第58-59页 |
| ·数据分析 | 第59-63页 |
| ·方形盘阵列谐振器 | 第63-66页 |
| ·ANSYS 仿真 | 第63-64页 |
| ·数据分析 | 第64-66页 |
| ·谐振器工艺的改进 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第6章 总结与展望 | 第68-70页 |
| ·论文总结 | 第68-69页 |
| ·论文中的不足 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 附录 | 第75-76页 |
| 详细摘要 | 第76-79页 |
