气相色谱法用于SF6主要分解产物检测条件的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| ·研究背景及意义 | 第9-10页 |
| ·六氟化硫气体的基本性质 | 第10-11页 |
| ·六氟化硫气体的分解机理 | 第11-14页 |
| ·本论文的主要研究内容及方法 | 第14页 |
| ·本章小结 | 第14-15页 |
| 2 六氟化硫气体分解产物的检测方法对比分析 | 第15-20页 |
| ·气相色谱法 | 第15页 |
| ·气相色谱-质谱联用 | 第15-16页 |
| ·气相色谱-傅里叶变换红外光谱联用 | 第16-17页 |
| ·检测管法 | 第17页 |
| ·气体传感器法 | 第17-18页 |
| ·离子迁移色谱法 | 第18页 |
| ·本章小结 | 第18-20页 |
| 3 实验方案设计及实验方法的探索 | 第20-51页 |
| ·实验设备与材料 | 第20-21页 |
| ·六氟化硫主要分解产物的气相色谱检测 | 第21-33页 |
| ·半导体高低温冷阱与十通阀的联用 | 第33-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 4 实验数据综合分析 | 第51-55页 |
| ·吸附剂饱和值的讨论 | 第51-52页 |
| ·探讨六氟化硫纯气作为背景气的冷阱实验条件 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 5 总结与展望 | 第55-57页 |
| ·总结 | 第55-56页 |
| ·展望 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
