单晶硅电火花铣削电极损耗特性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-21页 |
| ·半导体材料的特点及应用 | 第13页 |
| ·半导体材料加工现状 | 第13-15页 |
| ·线锯切割 | 第13-14页 |
| ·外圆切割 | 第14页 |
| ·内圆切割 | 第14页 |
| ·激光铣削加工 | 第14-15页 |
| ·超精密加工 | 第15页 |
| ·电火花加工研究现状 | 第15-17页 |
| ·电火花加工概述 | 第15-16页 |
| ·电火花铣削加工 | 第16-17页 |
| ·仿真技术在电火花加工中的应用 | 第17-19页 |
| ·在EDM 温度场中的应用 | 第17-18页 |
| ·在EDM 热应力场中的应用 | 第18-19页 |
| ·研究背景及意义 | 第19页 |
| ·研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 实验设备与装置设计 | 第21-25页 |
| ·铣削试验总体装置的设计 | 第21页 |
| ·主要部件的设计 | 第21-23页 |
| ·铣削机床本体设计 | 第21-22页 |
| ·铣削主夹头的设计 | 第22页 |
| ·电源设计 | 第22-23页 |
| ·其它试验设备 | 第23-24页 |
| ·小结 | 第24-25页 |
| 第三章 电火花铣削加工蚀除机理研究 | 第25-41页 |
| ·电火花加工的基本原理 | 第25-26页 |
| ·电极材料抛出过程 | 第25页 |
| ·放电能量的转换、分布与分配 | 第25-26页 |
| ·硅电火花铣削放电通道维持电压 | 第26-29页 |
| ·放电模型及测量原理 | 第26-28页 |
| ·测量参数 | 第28页 |
| ·单晶硅放电加工维持电压 | 第28-29页 |
| ·基于放电能量的蚀除机理分析 | 第29-31页 |
| ·单晶硅放电加工能量 | 第29-30页 |
| ·单位能量蚀除量 | 第30页 |
| ·蚀除机理假设 | 第30-31页 |
| ·基于 ANSYS 仿真的蚀除机理分析 | 第31-37页 |
| ·ANSYS 有限元分析软件简介 | 第31-32页 |
| ·ANSYS 的主要技术特点 | 第32页 |
| ·热应力分析的分类 | 第32页 |
| ·物理模型 | 第32-33页 |
| ·数学模型 | 第33页 |
| ·初始和边界条件 | 第33-35页 |
| ·网格划分 | 第35-36页 |
| ·计算结果及分析 | 第36-37页 |
| ·试验验证 | 第37-38页 |
| ·单晶硅电火花铣削蚀除过程的进一步分析 | 第38-39页 |
| ·放电能量对单晶硅加工过程的影响 | 第39-40页 |
| ·小结 | 第40-41页 |
| 第四章 单晶硅电火花铣削电极损耗研究 | 第41-62页 |
| ·电极损耗 | 第41页 |
| ·对电极损耗采取的措施 | 第41-42页 |
| ·单晶硅电火花铣削电极损耗变化规律 | 第42-45页 |
| ·实验原理 | 第42页 |
| ·试验条件及方法 | 第42-43页 |
| ·单晶硅电火花铣削电极体积相对损耗随参数变化规律 | 第43-45页 |
| ·与金属放电加工电极损耗对比试验 | 第45-48页 |
| ·蚀除机理 | 第45-46页 |
| ·放电间隙 | 第46页 |
| ·放电电流的波形 | 第46-47页 |
| ·不同电参数对两者电极相对体积损耗的变化规律 | 第47-48页 |
| ·单晶硅电火花铣削径向低损耗研究 | 第48-52页 |
| ·ANSYS 仿真分析 | 第48-49页 |
| ·计算结果及分析 | 第49-50页 |
| ·实验验证 | 第50-52页 |
| ·单晶硅电火花铣削电极表面的覆盖效应 | 第52-59页 |
| ·金属电加工中的电极覆盖 | 第52页 |
| ·电极表面二氧化硅的产生机理 | 第52-55页 |
| ·电参数对电极表面二氧化硅覆盖层厚度的影响 | 第55-56页 |
| ·并联钼丝随电参数的变化规律 | 第56-58页 |
| ·紫铜电极电火花铣削加工覆盖效应 | 第58-59页 |
| ·单晶硅电火花铣削端面损耗研究 | 第59-61页 |
| ·加工电压对电极端面损耗的影响 | 第59-60页 |
| ·脉宽对电极端面损耗的影响 | 第60页 |
| ·占空比对电极端面损耗的影响 | 第60-61页 |
| ·小结 | 第61-62页 |
| 第五章 电火花铣削工艺规律研究 | 第62-70页 |
| ·材料去除率及影响因素 | 第62-63页 |
| ·材料去除率 | 第62页 |
| ·影响材料去除率的主要因素 | 第62-63页 |
| ·电参数对单晶硅电火花铣削材料去除率的影响 | 第63-65页 |
| ·电压对工件材料去除率的影响 | 第64页 |
| ·脉冲宽度对工件材料去除率的影响 | 第64-65页 |
| ·占空比对工件材料去除率的影响 | 第65页 |
| ·非电参数对单晶硅电火花铣削材料去除率的影响 | 第65-66页 |
| ·电极转速对材料去除率的影响 | 第65-66页 |
| ·工作液对材料去除率的影响 | 第66页 |
| ·振动对单晶硅电火花铣削材料去除率的影响 | 第66-67页 |
| ·加工实例 | 第67-69页 |
| ·小结 | 第69-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-72页 |
| ·论文完成的主要工作 | 第70-71页 |
| ·创新点 | 第71页 |
| ·后续研究工作展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第77页 |
