| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| ·研究意义 | 第11-12页 |
| ·Cr-Al-N硬质涂层的制备方法 | 第12-15页 |
| ·化学气相沉积法 | 第12-13页 |
| ·磁控溅射法 | 第13页 |
| ·空心阴极离子镀法 | 第13-14页 |
| ·多弧离子镀法 | 第14-15页 |
| ·Cr-Al-N硬质涂层的研究现状及进展 | 第15-21页 |
| ·Al含量对CrAlN涂层高温抗氧化性的影响 | 第15-17页 |
| ·Cr-Al-N涂层组织结构的高温稳定性 | 第17-19页 |
| ·合金元素对CrAlN涂层高温抗氧化性的影响 | 第19-20页 |
| ·涂层结构对Cr-Al-N涂层氧化性能的影响 | 第20-21页 |
| ·目前存在的问题 | 第21页 |
| ·本课题的研究内容及创新点 | 第21-23页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第21-22页 |
| ·本论文研究的主要创新点 | 第22-23页 |
| 第二章 试验设备和方法 | 第23-29页 |
| ·试验材料 | 第23页 |
| ·基体材料 | 第23页 |
| ·靶材 | 第23页 |
| ·镀膜设备 | 第23-25页 |
| ·镀膜设备特点 | 第23-24页 |
| ·阴极电弧靶布置方式 | 第24-25页 |
| ·涂层沉积基本工艺 | 第25-26页 |
| ·涂层测试与分析手段 | 第26-29页 |
| ·结合强度测定 | 第26-27页 |
| ·硬度的检测 | 第27页 |
| ·涂层表面形貌、成分、截面形貌成分及断口组织的观察 | 第27页 |
| ·涂层的物相检测 | 第27页 |
| ·涂层的高温抗氧化性能 | 第27-29页 |
| 第三章 CrAlN三元涂层的制备及涂层微观组织 | 第29-53页 |
| ·纯金属靶制备CrAlN涂层的成分调制 | 第29-39页 |
| ·正交试验方案 | 第29-30页 |
| ·涂层沉积工艺 | 第30页 |
| ·正交试验结果分析 | 第30-33页 |
| ·CrAlN涂层的成分调制 | 第33-35页 |
| ·成分对涂层微观组织的影响 | 第35-39页 |
| ·梯度结构CrAlN涂层的设计与制备 | 第39-46页 |
| ·成分梯度CrAlN涂层的结构设计 | 第39-40页 |
| ·梯度结构CrAlN涂层的制备 | 第40-41页 |
| ·涂层的表面形貌与成分分析 | 第41-43页 |
| ·涂层的截面形貌与结构表征 | 第43-44页 |
| ·涂层的XRD相结构分析 | 第44-46页 |
| ·TiN中间层的CrAlN梯度涂层的设计与制备 | 第46-51页 |
| ·TiN中间层的CrAlN梯度涂层的结构设计 | 第46-47页 |
| ·TiN中间层的CrAlN梯度涂层的制备 | 第47页 |
| ·涂层的表面形貌与成分分析 | 第47-48页 |
| ·涂层的截面形貌与结构表征 | 第48-51页 |
| ·涂层的XRD相结构分析 | 第51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第四章 涂层成分及结构对涂层力学性能的影响 | 第53-62页 |
| ·涂层成分对涂层力学性能的影响 | 第53-55页 |
| ·涂层结构对涂层力学性能的影响 | 第55-58页 |
| ·涂层高温退火前的力学性能 | 第55-56页 |
| ·涂层高温退火后的力学性能 | 第56-58页 |
| ·涂层的断口形貌 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 第五章 Cr-Al-N系涂层氧化行为研究 | 第62-85页 |
| ·涂层结构对涂层短时氧化行为的影响 | 第62-69页 |
| ·CrAlN涂层试样随温度的氧化增重 | 第62-63页 |
| ·CrAlN涂层短时氧化显微组织及氧化物相分析 | 第63-69页 |
| ·涂层结构对CrAlN涂层恒温氧化行为的影响 | 第69-81页 |
| ·CrAlN涂层900℃恒温氧化增重动力学 | 第69-71页 |
| ·涂层恒温氧化的XRD物相分析 | 第71-73页 |
| ·涂层恒温氧化的表面形貌分析 | 第73-76页 |
| ·涂层恒温氧化的元素分布分析 | 第76-81页 |
| ·涂层恒温氧化机理分析 | 第81-83页 |
| ·本章小结 | 第83-85页 |
| 全文结论与展望 | 第85-87页 |
| 1 全文结论 | 第85-86页 |
| 2 展望 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-91页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 附件 | 第93页 |