大功率射频CO2激光器激励特性研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-24页 |
| ·CO_2激光器激励技术的发展 | 第11-15页 |
| ·射频激励CO_2激光器的发展现状 | 第15-17页 |
| ·射频激励CO_2激光器的关键技术 | 第17-22页 |
| ·本文的目的、意义和主要内容 | 第22-24页 |
| 2 大功率射频激光电源仿真设计 | 第24-40页 |
| ·大功率射频激光电源的电路设计 | 第24-34页 |
| ·自激式射频电源仿真分析 | 第34-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 3 大面积射频激励板条气体放电均匀性研究 | 第40-72页 |
| ·射频激励气体放电理论模型 | 第40-47页 |
| ·大面积射频板条气体放电的电压分布 | 第47-56页 |
| ·二维电感均压模型 | 第56-63页 |
| ·射频激励气体放电均匀性实验 | 第63-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 4 大功率射频放电气体负载的匹配特性研究 | 第72-102页 |
| ·大功率射频传输理论 | 第72-79页 |
| ·Smith圆图阻抗匹配原理 | 第79-81页 |
| ·Smith圆图法气体放电负载阻抗匹配网络设计 | 第81-89页 |
| ·阻抗匹配参数随放电负载的变化 | 第89-98页 |
| ·阻抗匹配实验 | 第98-101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 5 射频放电的调制特性研究 | 第102-118页 |
| ·射频激光器脉冲调制信号的波形设计 | 第102-105页 |
| ·脉冲调制电路及软件设计 | 第105-112页 |
| ·脉冲调制放电实验 | 第112-117页 |
| ·本章小结 | 第117-118页 |
| 6 射频注入功率对光腔镜片热变形的影响 | 第118-137页 |
| ·光腔镜片热变形仿真分析 | 第118-130页 |
| ·光腔镜片的热变形补偿 | 第130-136页 |
| ·本章小结 | 第136-137页 |
| 7 总结与展望 | 第137-139页 |
| 致谢 | 第139-141页 |
| 参考文献 | 第141-150页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第150-152页 |
| 附录2 攻读博士学位期间授权和申请的发明专利目录 | 第152-153页 |
| 附录3 攻读博士学位期间参与的科研项目 | 第153页 |
