| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·聚合物波导材料的特点 | 第8-9页 |
| ·常用聚合物波导制备工艺 | 第9-12页 |
| ·微笔直写光器件研究现状 | 第12-14页 |
| ·课题来源、意义及主要内容 | 第14-16页 |
| 2 条形波导制备原理与方法 | 第16-27页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·光波导材料——氟化聚酰亚胺 | 第16-21页 |
| ·微笔直写系统原理 | 第21-23页 |
| ·条形波导的理论基础 | 第23-24页 |
| ·BPM 方法介绍 | 第24-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 氟化聚酰亚胺的合成与分析 | 第27-41页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·实验 | 第27-30页 |
| ·结果与讨论 | 第30-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 4 波导制备工艺与分析 | 第41-58页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·实验 | 第41-42页 |
| ·结果与讨论 | 第42-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 5 全文总结与建议 | 第58-60页 |
| ·全文总结 | 第58-59页 |
| ·未来工作建议 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |