| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-24页 |
| ·太阳电池的概况 | 第12-13页 |
| ·太阳电池的原理 | 第13-14页 |
| ·太阳电池的工作原理 | 第13页 |
| ·太阳电池的性能参量 | 第13-14页 |
| ·太阳电池的分类 | 第14-16页 |
| ·单晶硅太阳电池 | 第14-15页 |
| ·多晶硅太阳电池 | 第15页 |
| ·薄膜太阳电池 | 第15-16页 |
| ·β-FeSi_2 薄膜电池材料 | 第16-18页 |
| ·β-FeSi_2 的性质 | 第16-17页 |
| ·β-FeSi_2 在电池中的应用 | 第17-18页 |
| ·β-FeSi_2 薄膜的制备 | 第18页 |
| ·ZNO 薄膜材料 | 第18-22页 |
| ·ZnO 的性质 | 第18-20页 |
| ·ZnO 在太阳电池中的应用 | 第20-21页 |
| ·ZnO 薄膜的制备 | 第21-22页 |
| ·本文的研究内容与目的 | 第22-24页 |
| 第二章 固相外延法合成Β-FeSi_2薄膜 | 第24-30页 |
| ·引言 | 第24-25页 |
| ·磁控溅射原理 | 第25-26页 |
| ·实验过程 | 第26-27页 |
| ·退火与硅铁化合物的形成 | 第27页 |
| ·结果与分析 | 第27-29页 |
| ·晶体结构 | 第27-28页 |
| ·表面形貌 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 FE/SI 多层膜法合成β-FeSi_2薄膜 | 第30-40页 |
| ·引言 | 第30-31页 |
| ·实验过程 | 第31-32页 |
| ·确定Fe/Si 多层膜的厚度 | 第31页 |
| ·确定Fe 原子和Si 原子的溅射速率 | 第31页 |
| ·磁控溅射制备Fe/Si 多层膜 | 第31-32页 |
| ·退火处理 | 第32页 |
| ·结果与分析 | 第32-38页 |
| ·晶体结构 | 第33-34页 |
| ·表面形貌 | 第34-36页 |
| ·光学带隙 | 第36-37页 |
| ·电学性能 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 常规电化学沉积ZNO 薄膜 | 第40-52页 |
| ·引言 | 第40-41页 |
| ·电化学沉积ZNO 的基本原理 | 第41-42页 |
| ·溶胶-凝胶法的原理 | 第42-44页 |
| ·溶胶-凝胶法制备薄膜的基本原理 | 第42-43页 |
| ·溶胶-凝胶法制备薄膜的方法 | 第43-44页 |
| ·实验过程 | 第44-46页 |
| ·衬底清洗 | 第44页 |
| ·缓冲层的制备 | 第44-45页 |
| ·电沉积ZnO | 第45-46页 |
| ·结果与分析 | 第46-51页 |
| ·电压对薄膜的影响 | 第46-48页 |
| ·退火对薄膜的影响 | 第48-49页 |
| ·电沉积缓冲层对薄膜的影响 | 第49页 |
| ·溶胶凝胶缓冲层对薄膜的影响 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 超声电化学沉积ZNO 薄膜 | 第52-59页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·超声辅助的原理 | 第52-53页 |
| ·超声的作用机理 | 第52-53页 |
| ·超声在电化学中的应用 | 第53页 |
| ·实验过程 | 第53-54页 |
| ·结果与分析 | 第54-56页 |
| ·超声对薄膜形貌的影响 | 第54页 |
| ·超声对薄膜光学性能的影响 | 第54-56页 |
| ·超声电化学沉积ZNO 薄膜的机理 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第六章 结论和展望 | 第59-61页 |
| ·结论 | 第59-60页 |
| ·展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第69页 |