| 第1章 引言 | 第1-16页 |
| ·研究背景 | 第9页 |
| ·原子发射光谱分析用ICP 激发源 | 第9-12页 |
| ·原子发射光谱仪 | 第9-10页 |
| ·ICP 激发源 | 第10-12页 |
| ·微型ICP 激发源研究的目的及意义 | 第12页 |
| ·国内外研究现状、水平及发展趋势 | 第12-14页 |
| ·微型ICP 激发源的研制现状 | 第12-14页 |
| ·微型ICP 激发源的应用现状 | 第14页 |
| ·本论文的研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 MEMS 技术及其在光谱仪器领域的应用进展 | 第16-25页 |
| ·MEMS 简介 | 第16-19页 |
| ·MEMS 的概念、特点及关键技术 | 第16-17页 |
| ·MEMS 的研究和发展方向 | 第17-18页 |
| ·MEMS 在国内外的研究现状 | 第18-19页 |
| ·国外研究现状 | 第18页 |
| ·国内研究现状 | 第18-19页 |
| ·MEMS 在光谱仪微型化中的研究与进展 | 第19-25页 |
| ·基于硅微光栅的微型光谱仪 | 第19-21页 |
| ·红外光栅光谱仪 | 第19-20页 |
| ·集成式微型光谱仪 | 第20页 |
| ·其它类型的微型光栅光谱仪 | 第20-21页 |
| ·基于可调干涉滤光片的微型光谱仪 | 第21-22页 |
| ·微型傅立叶变换光谱仪 | 第22页 |
| ·Febry-Perot 型微型光谱仪 | 第22-25页 |
| 第3章微型ICP 激发源的原理、结构及在微分析系统中的应用 | 第25-39页 |
| ·微型ICP 激发源的工作原理 | 第25-26页 |
| ·微型ICP 设计、使用中的特点 | 第26-27页 |
| ·微型ICP 激发源的结构 | 第27-33页 |
| ·射频功率驱动电路模块 | 第27-28页 |
| ·激发放电室组件 | 第28-33页 |
| ·螺旋激发线圈 | 第28-30页 |
| ·交指电容器 | 第30-31页 |
| ·放电室 | 第31-33页 |
| ·微型ICP 激发源的加工 | 第33页 |
| ·微型ICP 激发源的特性 | 第33-38页 |
| ·实验装置 | 第34页 |
| ·启燃特性 | 第34-36页 |
| ·电子密度 | 第36页 |
| ·电子温度 | 第36-37页 |
| ·RF 功率效率 | 第37-38页 |
| ·微型ICP 激发源在光谱仪中的应用 | 第38-39页 |
| 第4章 微型ICP 激发源的结构设计与实验研究 | 第39-51页 |
| ·射频驱动阻抗匹配网络 | 第39-40页 |
| ·激发放电室组件的设计与加工 | 第40-46页 |
| ·激发线圈的设计 | 第40-41页 |
| ·激发线圈电感量的计算 | 第41-42页 |
| ·谐振电容器的设计 | 第42-43页 |
| ·交指电容容量的计算 | 第43-44页 |
| ·平面螺旋线圈与交指电容器的加工 | 第44-45页 |
| ·放电室的结构 | 第45-46页 |
| ·实验装置、方法和实验条件 | 第46-49页 |
| ·实验装置 | 第46-47页 |
| ·实验方法 | 第47-48页 |
| ·实验条件、结果及讨论 | 第48-49页 |
| ·实验条件 | 第48页 |
| ·实验结果与分析讨论 | 第48-49页 |
| ·微型ICP 激发源的样品激发能力 | 第49-51页 |
| 第5章 结论与展望 | 第51-54页 |
| ·结论 | 第51-52页 |
| ·创新点 | 第52页 |
| ·有待进一步研究的问题 | 第52-53页 |
| ·展望 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文情况 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |