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玻璃厚度高精度检测仪光学系统研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-7页
第一章 绪论第7-13页
   ·课题来源及研究背景第7页
   ·研究现状第7-11页
   ·研究内容及基本思路第11-12页
   ·论文的组成第12-13页
第二章 系统总体设计第13-16页
   ·检测系统的组成第13页
   ·测量原理第13-16页
第三章 玻璃厚度检测系统光学系统设计第16-34页
   ·镜头设计第16-17页
   ·像差的校正方法第17-18页
   ·光源的选择第18页
   ·共焦系统设计第18-28页
   ·探头的选择第28-31页
   ·误差分析第31-34页
第四章 误差分析第34-37页
   ·系统测试第34-35页
   ·误差的分析第35页
   ·软件修正第35页
   ·仪器修正第35-36页
   ·结果第36-37页
第五章 结论与展望第37-38页
   ·结论第37页
   ·研究展望第37-38页
致谢第38-39页
参考文献第39-40页

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