| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·研究目的与意义 | 第8-9页 |
| ·国内外发展现状 | 第9-14页 |
| ·微机械陀螺发展 | 第9-13页 |
| ·微机械陀螺封装 | 第13-14页 |
| ·研究内容与方案 | 第14-15页 |
| ·本章小节 | 第15-16页 |
| 第二章 微机械陀螺的动特性分析 | 第16-33页 |
| ·微机械陀螺的结构 | 第16-20页 |
| ·滑膜驱动机理 | 第18-19页 |
| ·压膜检测机理 | 第19-20页 |
| ·微机械陀螺对轴向加速度的响应 | 第20-21页 |
| ·微机械陀螺品质因子Q | 第21-23页 |
| ·微机械陀螺的阻尼分析 | 第23-30页 |
| ·结构阻尼 | 第23-27页 |
| ·空气阻尼 | 第27-30页 |
| ·微机械陀螺仪的误差分析 | 第30-32页 |
| ·正交耦合误差 | 第30-31页 |
| ·阻尼不对称 | 第31-32页 |
| 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 微机械陀螺的器件级封装 | 第33-50页 |
| ·真空封装 | 第33-37页 |
| ·真空冷压焊封装 | 第34页 |
| ·真空度及其检测 | 第34-37页 |
| ·封装的影响 | 第37-38页 |
| ·封装对谐振频率影响的仿真分析 | 第38-43页 |
| ·微机械陀螺的器件级封装 | 第43-47页 |
| ·贴片工艺 | 第43-46页 |
| ·键合工艺 | 第46-47页 |
| ·微机械陀螺封装影响实验 | 第47-49页 |
| 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 器件级真空封装微机械陀螺测试 | 第50-67页 |
| ·微机械陀螺主要测试指标及测试器件概述 | 第50-52页 |
| ·微机械陀螺主要性能指标概述 | 第50页 |
| ·微机械陀螺主要测试器件概述 | 第50-52页 |
| ·微机械陀螺接口检测电路与系统级Matlab 仿真 | 第52-57页 |
| ·闭环驱动电路原理 | 第52-54页 |
| ·角速率检测电路原理 | 第54-55页 |
| ·微机械陀螺的系统级 Matlab 仿真 | 第55-57页 |
| ·器件级真空封装微机械陀螺的性能测试与分析 | 第57-66页 |
| ·扫频测试 | 第58-63页 |
| ·Matlab 软件的扫频测试仿真 | 第58-59页 |
| ·真空器件级封装微机械陀螺的扫频测试与分析 | 第59-63页 |
| ·标度因数测试 | 第63-65页 |
| ·零偏及加速度敏感性测试 | 第65-66页 |
| 本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 总结与展望 | 第67-69页 |
| ·总结 | 第67-68页 |
| ·展望 | 第68-69页 |
| 附录 | 第69-72页 |
| 参考文献 | 第72-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及取得的成果 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79页 |