| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-17页 |
| ·气敏传感器的研究意义 | 第7页 |
| ·半导体气敏传感器的研究现状与发展趋势 | 第7-9页 |
| ·气敏传感器的气敏机理和特征参数 | 第9-13页 |
| ·SnO_2的性质与其气敏元件类型 | 第13页 |
| ·纳米SnO_2薄膜的优势与制备方法 | 第13-15页 |
| ·本文选题 | 第15-17页 |
| 2 溶胶－凝胶法制备SnO_2薄膜的组分研究 | 第17-33页 |
| ·溶胶－凝胶制备SnO_2薄膜的主要原料和实验设备 | 第17页 |
| ·SnO_2薄膜试样的制备过程 | 第17-26页 |
| ·溶胶组分IN 的掺杂量研究 | 第26-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 3 SnO_2气敏薄膜制备的工艺研究 | 第33-43页 |
| ·薄膜制备镀膜层数研究 | 第33-37页 |
| ·薄膜制备热处理温度研究 | 第37-41页 |
| ·SnO_2:SB:In 薄膜的制备 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 4 SnO_2:SB:In 薄膜的气敏特性研究 | 第43-49页 |
| ·气敏测试系统简介 | 第43-44页 |
| ·SN02:SB:In 薄膜气敏特性 | 第44-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 5 总结与展望 | 第49-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |