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整体离子加速器薄膜电阻材料的制备与研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-9页
第一章 文献综述第9-25页
   ·离子加速器的应用和制备第9-10页
     ·离子加速器的应用及特点第9页
     ·国内外同类产品研制及使用现状、发展趋势第9-10页
     ·玻璃管离子加速器的制备方法第10页
   ·化学镀技术第10-17页
     ·化学镀镍原理第11-12页
     ·化学镀镍的工艺流程第12-13页
     ·玻璃基体上的化学镀镍第13-14页
     ·玻璃基体的活化方法第14-15页
     ·化学镀镍的应用第15-16页
     ·化学镀的研究现状及展望第16-17页
   ·复合镀技术第17-23页
     ·复合镀的特点第17-18页
     ·复合镀的应用第18-22页
     ·纳米复合镀的研究应用第22-23页
     ·复合镀的发展第23页
   ·本课题研究的意义及实验内容第23-25页
第二章 实验部分第25-29页
   ·实验流程图第25页
   ·原料及设备第25-26页
   ·实验原理第26页
   ·实验过程及主要工艺参数第26-28页
     ·基体预处理第26-27页
     ·化学镀镍磷过程第27页
     ·电沉积前预处理第27-28页
     ·电沉积过程第28页
     ·镀后处理第28页
   ·检测分析技术第28-29页
     ·电阻薄膜的成分与结构分析第28页
     ·电阻薄膜电阻的测量第28页
     ·薄膜电阻腐蚀失重率第28页
     ·自腐蚀电位测定第28-29页
第三章 石英管表面 NI-P 合金镀层的制备及表征第29-46页
   ·预处理工艺对化学镀层质量的影响第29-33页
     ·粗化条件对化学镀的影响第29-31页
     ·活化条件对化学镀的影响第31-33页
   ·主盐及还原剂的影响研究第33-37页
     ·主盐及还原剂对镀层含磷量、镀速的影响第34-35页
     ·不同主盐及还原剂比例下镀层 SEM 分析第35-37页
   ·镀液 pH 值的影响第37-39页
     ·主盐及还原剂对镀层含磷量、镀速的影响第37-38页
     ·不同 pH 值下镀层的 SEM 分析第38-39页
   ·稳定剂的影响研究第39-41页
   ·施镀温度的影响研究第41页
   ·化学镀 Ni-P 过程的机理研究第41-44页
     ·诱发铜片化学镀镍试验第43-44页
     ·化学吸附 H_2PO_2~- 及镍氢化物的形成第44页
     ·给出电子第44页
     ·Ni-P 合金的沉积及氢气的生成第44页
   ·本章小结第44-46页
第四章 复合电沉积制备石英管薄膜电阻的研究第46-63页
   ·镀液中 SiO_2 含量的影响研究第46-49页
     ·镀液中 SiO_2 浓度对 SiO_2 复合量的影响第46-47页
     ·镀液中 SiO_2 浓度对镀层表面形貌的影响第47-48页
     ·镀液中 SiO_2 浓度对镀层电阻的影响第48-49页
   ·表面活性剂的影响研究第49-53页
     ·表面活性剂对复合镀层粒子含量的影响第49-51页
     ·表面活性剂对复合镀层表面形貌的影响第51-52页
     ·表面活性剂对复合镀层电阻的影响第52-53页
   ·电流密度的影响研究第53-57页
     ·电流密度对镀层 SiO_2 复合量的影响第53-54页
     ·不同电流密度下镀层的 SEM 和 EDX 分析第54-56页
     ·不同阴极电流密度对镀层电阻的影响第56-57页
   ·镀液 pH 值对镀层及其电阻的影响第57-58页
   ·镀层中不同 SiO_2 含量的 XRD 分析第58-59页
   ·复合电沉积 Ni-P-SiO_2 过程的机理研究第59-61页
     ·Ni-P-SiO_2 复合镀层的制备第60页
     ·镀液中 SiO_2 颗粒分散量对 SiO_2 颗粒共析量的影响第60-61页
     ·不同电流密度对 SiO_2 颗粒共析量的影响第61页
   ·本章小结第61-63页
第五章 石英管薄膜电阻的耐腐蚀性能研究第63-70页
   ·电阻薄膜材料腐蚀失重腐蚀测试第63-65页
   ·电阻薄膜材料的电化学腐蚀测试第65-68页
   ·电阻薄膜材料的耐腐蚀机理第68-69页
   ·本章小结第69-70页
第六章 结论与建议第70-72页
   ·结论第70-71页
   ·建议第71-72页
参考文献第72-79页
致谢第79-80页
攻读硕士期间主要的研究成果第80页

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