| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| ·电子器件噪声测试的意义 | 第7-8页 |
| ·电子器件噪声测试的国内外现状 | 第8页 |
| ·论文总体结构 | 第8-11页 |
| 第二章 锁相放大器、噪声基础、常用测试技术及调制与解调 | 第11-25页 |
| ·锁相放大器 | 第11-14页 |
| ·锁相放大器工作原理 | 第11-12页 |
| ·实际的锁相放大器 | 第12-13页 |
| ·相位调节 | 第13-14页 |
| ·电子器件低频噪声分类和表征参数 | 第14-17页 |
| ·电子器件低频噪声的分类 | 第14-16页 |
| ·电子器件低频噪声表征参数 | 第16-17页 |
| ·电子器件低频噪声测试电路 | 第17-22页 |
| ·直流测试电路 | 第17-18页 |
| ·交流测试电路 | 第18-20页 |
| ·其他测试电路 | 第20-22页 |
| ·振幅调制与解调 | 第22-25页 |
| ·振幅信号调制原理 | 第23页 |
| ·调幅信号的解调 | 第23-25页 |
| 第三章 基于锁相放大器的噪声测量系统 | 第25-39页 |
| ·噪声测量中锁相放大器应用的目的 | 第25-26页 |
| ·基于锁相放大器的噪声测试方案设计 | 第26-31页 |
| ·噪声方案总体构思 | 第26-27页 |
| ·偏置电路中电阻的选择 | 第27-28页 |
| ·偏置电路设计 | 第28-30页 |
| ·数据采集系统 | 第30-31页 |
| ·基于锁相放大器的噪声测量系统实现 | 第31-39页 |
| ·调制偏置电路模块实现 | 第31-32页 |
| ·解调模块实现 | 第32页 |
| ·系统软件模块实现 | 第32-35页 |
| ·控制模块和数据采集处理模块的实现 | 第35-39页 |
| 第四章 基于锁相放大器的噪声测量技术验证与应用 | 第39-51页 |
| ·铝互连电迁移样品噪声测试 | 第39-46页 |
| ·铝互连电迁移样品噪声检测实验 | 第39-41页 |
| ·铝互连电迁移样品的测试结果验证 | 第41-45页 |
| ·铝互连电迁移测试结果对比 | 第45-46页 |
| ·厚膜样品噪声测试 | 第46-51页 |
| ·厚膜样品检测实验 | 第46页 |
| ·厚膜样品测试结果验证 | 第46-48页 |
| ·厚膜样品测试结果对比 | 第48-51页 |
| 第五章 结论与展望 | 第51-53页 |
| ·论文成果 | 第51页 |
| ·展望 | 第51-53页 |
| 致谢 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 作者在读期间的研究成果 | 第59页 |