| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第一章 引言 | 第11-13页 |
| 第二章 文献综述 | 第13-35页 |
| ·微波器件概述 | 第13-16页 |
| ·微波器件常用材料体系 | 第13-15页 |
| ·各种类型的微波器件 | 第15-16页 |
| ·HBT的特点和研究概况 | 第16-22页 |
| ·HBT的特点 | 第16-17页 |
| ·HBT的研究概况 | 第17-19页 |
| ·InGaP/GaAs HBT的特点和研究概况 | 第19-22页 |
| ·HBT材料生长技术 | 第22-24页 |
| ·MBE简介 | 第22页 |
| ·MBE的基本原理 | 第22-23页 |
| ·GSMBE技术简介 | 第23-24页 |
| ·HBT的基本原理 | 第24-25页 |
| ·HBT的主要特性 | 第25-33页 |
| ·频率和功率 | 第25-28页 |
| ·电流增益 | 第28-30页 |
| ·热可靠性 | 第30页 |
| ·开启电压和膝点电压 | 第30-33页 |
| ·小结 | 第33-35页 |
| 第三章 InGaP/GaAs HBT仿真与设计 | 第35-61页 |
| ·MEDICI模拟外延结构设计 | 第35-47页 |
| ·MEDICI仿真方法及注意事项 | 第35-37页 |
| ·阻挡层厚度对β的影响 | 第37-38页 |
| ·基区厚度对β的影响 | 第38-39页 |
| ·不同结构参数HBT的β和f_T模拟结果 | 第39-41页 |
| ·不同结构参数的大尺寸HBT特性 | 第41-45页 |
| ·HBT材料结构设计 | 第45-47页 |
| ·HBT版图设计 | 第47-51页 |
| ·无源器件设计 | 第51-58页 |
| ·MIM电容 | 第51-53页 |
| ·螺旋电感 | 第53-56页 |
| ·NiCr电阻 | 第56-57页 |
| ·变容二极管 | 第57-58页 |
| ·总版图 | 第58-59页 |
| ·小结 | 第59-61页 |
| 第四章 InGaP/GaAs HBT工艺研究及测试 | 第61-85页 |
| ·湿法腐蚀工艺研究 | 第61-66页 |
| ·影响湿法腐蚀的因素 | 第61页 |
| ·InGaP/GaAs界面腐蚀问题与分析 | 第61-62页 |
| ·湿法腐蚀实验及结果讨论 | 第62-66页 |
| ·器件隔离工艺研究 | 第66-69页 |
| ·腐蚀和注入隔离实验 | 第67-68页 |
| ·隔离结果与分析 | 第68-69页 |
| ·欧姆接触工艺与分析 | 第69-72页 |
| ·Ledge技术 | 第72-74页 |
| ·空气桥工艺 | 第74-77页 |
| ·InGaP/GaAs HBT工艺流程 | 第77-81页 |
| ·HBT器件特性测试和分析 | 第81-83页 |
| ·小结 | 第83-85页 |
| 第五章 X波段HBT VCO设计 | 第85-97页 |
| ·MMIC简介 | 第85页 |
| ·HBT的等效电路模型 | 第85-88页 |
| ·VCO简介 | 第88-90页 |
| ·VCO设计方法 | 第90-91页 |
| ·VCO电路的ADS仿真设计 | 第91-95页 |
| ·小结 | 第95-97页 |
| 第六章 总结与展望 | 第97-101页 |
| ·总结 | 第97-98页 |
| ·展望 | 第98-101页 |
| 参考文献 | 第101-111页 |
| 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第111-112页 |
| 致谢 | 第112-113页 |
| 作者简介 | 第113-114页 |