FCVA沉积（Ti，Al）N薄膜的工艺研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-27页 |
| ·引言 | 第8-10页 |
| ·刀具材料的发展 | 第10-12页 |
| ·(Ti,Al)N刀具的发展与应用 | 第12-15页 |
| ·获得氮铝钛涂层的方法 | 第15-19页 |
| ·Al对薄膜性质的影响 | 第19-21页 |
| ·工艺因素对(Ti,Al)N薄膜性能的影响 | 第21-24页 |
| ·(Ti,Al)N刀具镀层的性能及应用 | 第24-27页 |
| 第2章 试验设备、原理以及试验方案 | 第27-34页 |
| ·所用到的设备 | 第27页 |
| ·试验方案 | 第27-28页 |
| ·试验设备及过程 | 第28-34页 |
| 第3章 设备调试及试验方案的初步探索 | 第34-44页 |
| ·在硅片上初步镀制薄膜 | 第34-38页 |
| ·XRD试验分析 | 第38-40页 |
| ·在高速钢基底上初步镀膜 | 第40-44页 |
| 第4章 工艺参数对薄膜组织结构及性能的影响 | 第44-54页 |
| ·镀膜工艺 | 第44-45页 |
| ·薄膜厚度测试 | 第45-46页 |
| ·显微硬度测试 | 第46-48页 |
| ·XRD分析 | 第48-49页 |
| ·摩擦磨损试验 | 第49-54页 |
| 第5章 工艺的改进及结合力的初步探索 | 第54-72页 |
| ·镀膜工艺 | 第54-55页 |
| ·以高速钢为基底的薄膜样品的性能测试及分析 | 第55-60页 |
| ·以硬质合金为基底的薄膜样品的性能测试及分析 | 第60-64页 |
| ·结合力的初步评定 | 第64-68页 |
| ·和TiN薄膜的初步比较 | 第68-72页 |
| 结论 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第77页 |
