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超声喷雾法制备太阳电池减反射膜的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-8页
第一章 绪论第8-17页
   ·引言第8-9页
   ·减反射膜概述第9-12页
     ·太阳能玻璃的发展现状第9-10页
     ·减反射膜的发展与现状第10-11页
     ·太阳能电池减反射膜材料的选择第11-12页
   ·减反射薄膜的制备方法第12-16页
     ·常用减反射薄膜制备方法的比较第12-15页
     ·超声喷雾热解法第15-16页
   ·本文主要研究内容第16-17页
第二章 单层薄膜的USP 制备工艺及其性能表征第17-25页
   ·超声喷雾热解法及实验设备第17-20页
     ·超声雾化方式的选择第17-18页
     ·USP 的四种沉积模式第18-19页
     ·实验设备装置第19-20页
   ·USP 制备TiO_2 和SiO_2 单层薄膜第20-22页
     ·前驱物的选用第20页
     ·实验原料第20-21页
     ·前驱液的配制第21页
     ·载气的选择第21页
     ·衬底的清洗第21-22页
   ·薄膜的性能表征方法第22-25页
     ·X 射线衍射第22页
     ·扫描电子显微镜第22-23页
     ·原子力显微镜第23页
     ·分光光度计第23-25页
第三章 制备工艺对单层薄膜的影响第25-35页
   ·载气流量和喷雾距离参数的确定第25-26页
   ·沉积温度对薄膜生长的影响第26-30页
     ·沉积温度对TiO_2 薄膜生长的影响第26-28页
     ·沉积温度对SiO_2 薄膜生长的影响第28-30页
   ·溶液流量对薄膜生长的影响第30-32页
     ·溶液流量对TiO_2 薄膜生长的影响第30-31页
     ·溶液流量对SiO_2 薄膜生长的影响第31-32页
   ·热处理时间对薄膜折射率的影响第32-33页
   ·本章小结第33-35页
第四章 太阳电池减反射膜的优化设计及性能研究第35-53页
   ·光学薄膜的理论基础第35-39页
   ·规整减反射膜的设计第39-43页
     ·单层减反射膜第39-41页
     ·双层减反射膜第41-43页
   ·非规整减反射膜的优化设计第43-48页
     ·非规整膜系的优化方法第44-45页
     ·应用于非晶硅太阳能电池的减反射膜设计第45-46页
     ·应用于微晶硅或晶硅太阳能电池的减反射膜设计第46-48页
   ·减反射膜样品的性能研究第48-51页
     ·光学性能测试与分析第48-50页
     ·附着性测试第50页
     ·机械性能测试第50-51页
   ·本章小结第51-53页
第五章 结论第53-54页
参考文献第54-58页
致谢第58页

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