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OTFT器件及气敏性能研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-10页
第一章 绪论第10-20页
   ·引言第10-11页
   ·OTFT 研究现状第11-14页
   ·OTFT 优点及应用领域第14-15页
   ·OTFT 存在的问题和发展前景第15-16页
   ·OTFT 传感器国内外研究现状第16-18页
   ·本论文的研究内容第18-20页
第二章 OTFT 传感器结构设计及性能测试方法第20-32页
   ·OTFT 传感器的结构第20-21页
   ·OTFT 器件材料的选择第21-26页
     ·OTFT 的衬底材料第21-22页
     ·OTFT 的绝缘层材料第22-23页
     ·OTFT 的电极材料第23页
     ·OTFT 的有机半导体材料第23-26页
   ·制备OTFT 传感器的工艺流程第26-29页
     ·基片的清洗第26-27页
     ·OTFT 基本结构的制备工艺第27页
     ·有机半导体层的制备工艺第27-29页
   ·有机半导体层的结构分析方法第29页
   ·OTFT 传感器性能测试方法及装置第29-31页
   ·本章小结第31-32页
第三章 六噻吩-TFT 气体传感器的制备及性能研究第32-44页
   ·六噻吩(α-6T)薄膜的制备和表征第32-33页
     ·α-6T 薄膜的制备第32页
     ·α-6T 薄膜的表征分析第32-33页
   ·六噻吩-TFT 的特性测试第33-34页
   ·六噻吩-TFT 的气敏特性测试第34-43页
     ·六噻吩-TFT 对NO_2 气体的气敏特性测试第35-37页
     ·六噻吩-TFT 对NH_3 气体的气敏特性测试第37-39页
     ·六噻吩-TFT 对有机蒸汽的气敏特性测试第39-43页
   ·气敏机理分析第43页
   ·本章小结第43-44页
第四章 P3HT 复合薄膜OTFT 气体传感器的制备及性能研究第44-65页
   ·P3HT 复合薄膜的制备与表征第44-46页
     ·试验用材料及仪器第44页
     ·P3HT 薄膜的制备第44-45页
     ·P3HT 复合敏感薄膜的制备第45页
     ·P3HT/SWCNTs 薄膜的表征第45-46页
   ·P3HT 复合薄膜晶体管的性能测试第46-48页
     ·P3HT 有机薄膜晶体管的特性测试第46-47页
     ·P3HT/SWCNTs 复合薄膜晶体管的特性测试第47-48页
   ·P3HT/SWCNTs-TFT 气敏特性测试第48-63页
     ·P3HT/SWCNTs-TFT 对H_2S 气体的气敏特性测试第48-53页
     ·P3HT/SWCNTs-TFT 对有机蒸汽的气敏特性测试第53-58页
     ·P3HT-TFT 对有机蒸汽的气敏特性测试第58-63页
   ·气敏机理分析第63页
   ·本章小结第63-65页
第五章 结论和展望第65-67页
   ·结论第65-66页
   ·展望第66-67页
致谢第67-68页
参考文献第68-73页
攻读硕士学位期间的研究成果第73-74页

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