表面形貌测量中计量型工作台及参数评定研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| ·本文研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| ·表面形貌测量概述 | 第10-11页 |
| ·二维精密工作台发展概况 | 第11-13页 |
| ·表面评定的发展 | 第13-15页 |
| ·本文的主要工作 | 第15-16页 |
| 2 工作台的结构设计和原理 | 第16-26页 |
| ·整体结构设计方案 | 第16-17页 |
| ·工作台的共运动基面设计 | 第17-18页 |
| ·驱动机构设计 | 第18-20页 |
| ·计量光栅的工作原理 | 第20-23页 |
| ·闭环控制系统的实现 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-26页 |
| 3 光栅莫尔条纹信号分析与电路设计 | 第26-37页 |
| ·满足计数的李萨如信号分析 | 第26-28页 |
| ·莫尔条纹信号处理电路设计 | 第28-32页 |
| ·位移量计算的补偿 | 第32-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 4 空间表面评定方法 | 第37-47页 |
| ·空间三维参数计算 | 第37-44页 |
| ·参数计算的优化 | 第44-45页 |
| ·参数计算的误差分析 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 5 三维表面评定软件的设计 | 第47-58页 |
| ·软件的功能设计 | 第47-49页 |
| ·计量型X-Y 工作台的控制 | 第49-50页 |
| ·仿真模型的建立过程 | 第50-52页 |
| ·表面轮廓的特征提取 | 第52-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 6 误差分析与实验 | 第58-62页 |
| ·X-Y 工作台的误差分析实验 | 第58-59页 |
| ·三维参数计算的比较 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 7 全文总结和展望 | 第62-64页 |
| ·全文总结 | 第62-63页 |
| ·展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 附录 1 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第69-70页 |
| 附录 2 电路实物图和单片机通讯程序框图 | 第70-72页 |
| 附录 3 参数计算公式 | 第72页 |
