| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-16页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·小尺寸测量的特点 | 第7-9页 |
| ·小孔测量技术的发展现状 | 第9-15页 |
| ·本课题主要研究工作 | 第15-16页 |
| 第二章电容测孔传感器测头的研究 | 第16-27页 |
| ·电容传感器工作原理及其类型 | 第17-19页 |
| ·测量微小孔内径的电容传感器 | 第19-21页 |
| ·电场边缘效应的影响及保护环技术 | 第21-25页 |
| ·电容测孔传感器的测头设计与制作 | 第25-27页 |
| 第三章电容测孔传感器系统的测量处理电路 | 第27-42页 |
| ·转换电路 | 第27-29页 |
| ·驱动电缆技术 | 第29-31页 |
| ·运算式JYC-2005 电容测微仪的电路组成 | 第31-33页 |
| ·运算式电容测微仪测量系统的误差分析 | 第33-42页 |
| 第四章 电容传感式微小孔内径测量系统的标定及其测量实验 | 第42-49页 |
| ·相对测量原理 | 第42-43页 |
| ·测量系统的标定方法 | 第43-44页 |
| ·测量实验及其稳定性分析 | 第44-49页 |
| 第五章 总结与展望 | 第49-51页 |
| ·全文总结 | 第49页 |
| ·展望 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-53页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54页 |