| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| 1．1 微气压测试仪概述 | 第8-14页 |
| 1．2 SOC技术概述 | 第14-17页 |
| 1．3 SOC式微气压测试仪的国内外研究现状 | 第17-18页 |
| 1．4 研制SOC式微气压测试仪的现实意义与应用前景 | 第18页 |
| 1．5 本文开展的主要工作 | 第18-19页 |
| 2 SOC式微气压测试仪的系统结构设计 | 第19-32页 |
| 2．1 SOC式微气压测试仪的组成 | 第19-20页 |
| 2．2 系统研制方案设计 | 第20-21页 |
| 2．3 微气压传感器的研制 | 第21-26页 |
| 2．3．1 微气压传感器的工作原理 | 第21-22页 |
| 2．3．2 微气压传感器的结构设计 | 第22-26页 |
| 2．4 恒功率加热电路 | 第26-32页 |
| 2．4．1 补偿电阻网络 | 第26-28页 |
| 2．4．2 恒功率加热电路的设计 | 第28-32页 |
| 3 系统硬件设计 | 第32-47页 |
| 3．1 信号处理电路的设计 | 第33-37页 |
| 3．1．1 仪用放大器 | 第33-34页 |
| 3．1．2 信号处理电路的设计 | 第34-37页 |
| 3．2 单片机的选择 | 第37-38页 |
| 3．3 单片机硬件电路的设计 | 第38-45页 |
| 3．3．1 MSP430单片机的JTAG接口 | 第38-40页 |
| 3．3．2 MSP430的模数转换模块ADC12 | 第40-41页 |
| 3．3．3 串行通信电路 | 第41-43页 |
| 3．3．4 显示电路的设计 | 第43-45页 |
| 3．4 电源模块的设计 | 第45-47页 |
| 4 系统软件设计 | 第47-57页 |
| 4．1 系统初始化子程序 | 第47页 |
| 4．2 按键中断子程序 | 第47-49页 |
| 4．3 A/D转换子程序 | 第49-50页 |
| 4．4 显示子程序 | 第50页 |
| 4．5 串行通信子程序 | 第50-57页 |
| 4．5．1 下位机串行通信子程序 | 第51-52页 |
| 4．5．2 上位机串行通信子程序 | 第52-57页 |
| 5 测试结果与分析 | 第57-63页 |
| 5．1 实验装置 | 第57-58页 |
| 5．2 测试结果与分析 | 第58-63页 |
| 5．2．1 微气压测试仪的特性参数 | 第58-60页 |
| 5．2．2 微气压测试仪的影响因素分析 | 第60-63页 |
| 6 结论与展望 | 第63-65页 |
| 6．1 结论 | 第63页 |
| 6．2 展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 附录 A | 第68-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第71页 |