纳米六自由度微动工作台机械设计

第一章 绪论	第1-16页
·微位移技术的发展及国内外研究现状	第13-14页
·本文研究的意义	第14页
·本文主要内容	第14-16页
第二章 六自由度微动工作台整体结构及控制模型研究	第16-30页
·六自由度微动工作台整体结构形式设计及分析	第16-18页
·建立六自由度微动工作台运动控制数学模型	第18-24页
·微动工作台单自由度运动控制模型	第19-22页
·微动工作台六自由度相关运动控制模型	第22-24页
·微动工作台整体结构参数与工作台特性研究	第24-30页
·工作台结构参数对微动台运动范围和分辨率的影响	第25页
·单自由度运动时结构参数对模型误差的影响	第25-28页
·多自由度运动时结构参数对模型误差的影响	第28-29页
·确定微动工作台结构参数设计原则	第29-30页
第三章 六自由度微动工作台机械结构设计	第30-42页
·六自由度微动工作台机械结构分析	第30-33页
·柔性铰链设计	第33-40页
·柔性铰链转角刚度分析	第34-39页
·柔性铰链结构尺寸的确定	第39-40页
·确定微动工作台机械结构尺寸及公差	第40-42页
第四章 六自由度微动工作台的有限元分析	第42-49页
·单个柔性铰链实体模型的有限元分析	第42-44页
·微动工作台整体有限元分析	第44-49页
·单个柔性铰链简化模型分析	第44-45页
·整个工作台简化模型分析	第45-49页
第五章 六自由度微动工作台的运动定位精度分析	第49-59页
·微动工作台中驱动杆的控制误差分析	第49-52页
·驱动杆的模型控制误差分析	第49-52页
·驱动器本身的控制定位误差分析	第52页
·由驱动杆控制误差分析工作台定位误差	第52-57页
·工作环境对微动工作台定位精度的影响	第57-58页
·六自由度微动工作台运动定位精度初步估计	第58-59页
第六章 总结与展望	第59-60页
参考文献	第60-63页
附图	第63-64页