摘要 | 第1-6页 |
ABSTRACT | 第6-11页 |
1 前言 | 第11-13页 |
2 文献综述 | 第13-27页 |
·PS版制备工艺概述 | 第13-15页 |
·版基处理 | 第13-14页 |
·PS版感光材料技术 | 第14-15页 |
·阳图PS版用树脂 | 第15-20页 |
·阳图PS版对成膜树脂的要求 | 第15-16页 |
·阳图PS版用树脂种类 | 第16-20页 |
·线性酚醛树脂 | 第16-18页 |
·带有苯磺酰胺基、酚基、苯甲酸基的丙烯酸系树脂 | 第18-19页 |
·聚羟基苯乙烯系碱可溶树脂 | 第19页 |
·碱可溶聚氨酯树脂 | 第19-20页 |
·碱可溶马来酰亚胺共聚树脂 | 第20页 |
·阳图PS版用树脂的设计 | 第20-22页 |
·带有苯磺酰胺基的丙烯酸系树脂树脂的设计 | 第21页 |
·带有苯磺酰胺基的丙烯酸系树脂的合成 | 第21-22页 |
·N-[P-磺酰胺基苯基](甲基)丙烯酰胺的合成 | 第21-22页 |
·N-[P-磺酰胺基苯基]丙烯酰胺共聚树脂的合成 | 第22页 |
·阳图PS版曝光、促溶/阻溶及显影机理 | 第22-27页 |
·重氮萘醌系正性抗蚀剂光分解机理 | 第22-23页 |
·阳图PS版的阻溶/促溶机理 | 第23-24页 |
·阳图PS版的显影机理 | 第24-27页 |
3 单体ASPAA的合成和表征 | 第27-32页 |
·实验部分 | 第27-28页 |
·原料 | 第27页 |
·ASPAA单体的合成 | 第27-28页 |
·结构表征 | 第28页 |
·结果与讨论 | 第28-31页 |
·ASPAA的合成影响因素 | 第28-30页 |
·ASPAA的表征 | 第30-31页 |
·小结 | 第31-32页 |
4 ASPAA/MMA、ASPAA/AN共聚物的合成与表征 | 第32-41页 |
·实验部分 | 第32-33页 |
·原料 | 第32页 |
·二元共聚物的合成 | 第32-33页 |
·ASPAA/MMA二元共聚物合成 | 第32-33页 |
·ASPAA/AN二元共聚物合成 | 第33页 |
·结构表征 | 第33页 |
·结果和讨论 | 第33-40页 |
·ASPAA/AN、ASPAA/MMA共聚竞聚率 | 第33-38页 |
·ASPAA/MMA、ASPAA/AN共聚物表征 | 第38-39页 |
·ASPAA/AN、ASPAA/MMA的热性能 | 第39-40页 |
·小结 | 第40-41页 |
5 三元共聚物ASPAA/MMA/AN的合成与表征 | 第41-50页 |
·实验部分 | 第41-43页 |
·主要原料、规格及厂家 | 第41页 |
·ASPAA/MMA/AN三元共聚物的合成 | 第41-42页 |
·结构和性能表征 | 第42-43页 |
·结果和讨论 | 第43-49页 |
·ASPAA/MMA/AN的表征 | 第43-44页 |
·温度、引发剂浓度对三元共聚物转化率的影响 | 第44-45页 |
·三元共聚物分子量及其分布影响因素 | 第45-48页 |
·ASPAA含量不同对共聚物热性能及酸值的影响 | 第48-49页 |
·小结 | 第49-50页 |
6 ASPAA/AN/MMA共聚物应用性能 | 第50-56页 |
·实验 | 第50-51页 |
·感光液的制备 | 第50页 |
·涂布 | 第50页 |
·曝光 | 第50页 |
·显影 | 第50-51页 |
·结果与讨论 | 第51-55页 |
·涂层性能 | 第51-52页 |
·感光性能 | 第52页 |
·显影宽容度 | 第52-53页 |
·低温疲劳显影液性能 | 第53页 |
·高温高浓度显影性能 | 第53-54页 |
·耐磨性能 | 第54-55页 |
·小结 | 第55-56页 |
7 结论 | 第56-57页 |
参考文献 | 第57-60页 |
致谢 | 第60-61页 |
附录 录用论文一览 | 第61页 |