离子渗金属过程中的迁移研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| ·现代表面技术发展概况 | 第9页 |
| ·双层辉光离子渗金属技术 | 第9-11页 |
| ·双辉离子渗金属技术发展 | 第9-10页 |
| ·双辉离子渗金属技术特点 | 第10-11页 |
| ·碳迁移现象 | 第11-12页 |
| ·本课题的内容 | 第12-14页 |
| 第2章 双辉离子渗金属技术详解 | 第14-18页 |
| ·双辉渗技术的基本原理 | 第14-15页 |
| ·双辉渗技术的基本物理过程 | 第15-16页 |
| ·空心阴极效应 | 第16-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 第3章 碳迁移的实验研究 | 第18-26页 |
| ·实验条件及方法 | 第18页 |
| ·实验结果的分析与讨论 | 第18-25页 |
| ·脱碳层形态及形成条件 | 第18-21页 |
| ·阴极电压对脱碳层深度的影响 | 第21-22页 |
| ·温度对脱碳层的影响 | 第22-24页 |
| ·加热时间对脱碳层的影响 | 第24页 |
| ·不同源极材料对脱碳层的影响 | 第24-25页 |
| ·样品含碳量对脱碳层的影响 | 第25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第4章 双辉渗金属物理过程及碳迁移分析 | 第26-45页 |
| ·双辉渗物理过程 | 第26-38页 |
| ·源极和工件极的粒子运动过程 | 第26-31页 |
| ·金属元素的渗入过程 | 第31-38页 |
| ·碳迁移过程 | 第38-44页 |
| ·表面轰击溅射的影响 | 第38-39页 |
| ·渗入金属元素对碳活度的影响 | 第39-42页 |
| ·碳元素的迁移过程 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第5章 双辉渗过程数值解法的计算机实现 | 第45-64页 |
| ·参数输入模块 | 第46-47页 |
| ·源极金属的供给量Jnet模块 | 第47-48页 |
| ·工件极的再溅射系数模块 | 第48-49页 |
| ·过饱和点缺陷的浓度分布模块 | 第49-53页 |
| ·确定常数和初始值 | 第49-50页 |
| ·迭代计算基体内部的各点缺陷浓度 | 第50-53页 |
| ·确定C~(γ/α)与C~(α/λ)的模块 | 第53页 |
| ·工件表面碳元素溅射损失系数模块 | 第53-54页 |
| ·金属浓度分布与碳浓度分布模块 | 第54-59页 |
| ·差分求解结果 | 第59-63页 |
| ·计算结果 | 第60-61页 |
| ·算法的验证 | 第61-62页 |
| ·算法的不足及改进 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
