基于电子虚拟样板的非球面检测技术研究
| 第一章 绪论 | 第1-18页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·非球面检测技术概述 | 第8-15页 |
| ·课题研究目的及意义 | 第15-17页 |
| ·本文主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第二章 电子虚拟样板数学模型的建立 | 第18-26页 |
| ·电子莫尔条纹干涉技术 | 第18-19页 |
| ·电子虚拟样板原理数学模型的建立 | 第19-21页 |
| ·电子莫尔条纹相移技术 | 第21-25页 |
| ·电子虚拟样板应用范围 | 第25页 |
| ·小结 | 第25-26页 |
| 第三章 电子莫尔条纹的预处理 | 第26-34页 |
| ·图像处理数据算法 | 第26-32页 |
| ·图像边缘锐化 | 第26-28页 |
| ·低通滤波法 | 第28-29页 |
| ·图像中值滤波 | 第29-30页 |
| ·中值滤波算法 | 第30-31页 |
| ·快速中值滤波算法 | 第31页 |
| ·邻域平均值法 | 第31-32页 |
| ·图像滤波结果 | 第32-33页 |
| ·小结 | 第33-34页 |
| 第四章 电子莫尔条纹的数据处理技术 | 第34-45页 |
| ·引言 | 第34-35页 |
| ·数字相移干涉技术 | 第35-41页 |
| ·位相模2π修正 | 第41-44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 第五章 干涉条纹的拟合分析 | 第45-53页 |
| ·广义多项式插值 | 第45-46页 |
| ·Zernike多项式 | 第46-47页 |
| ·Zernike多项式最小二乘法拟合 | 第47-49页 |
| ·系统局部插值 | 第49-50页 |
| ·波面拟合 | 第50-52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 第六章 展望与结论 | 第53-54页 |
| ·总结 | 第53页 |
| ·展望 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 附录 | 第57-58页 |
| 1 作者简介 | 第57页 |
| 2 攻读硕士期间发表的论文 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-61页 |
