| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-31页 |
| ·研究背景及现状 | 第14-20页 |
| ·阳极键合技术的应用及研究进展 | 第20-27页 |
| ·玻璃与硅的连接 | 第21-23页 |
| ·玻璃与金属的连接 | 第23页 |
| ·通过中间层实现玻璃/玻璃和硅/硅的连接 | 第23-24页 |
| ·陶瓷与金属(硅)的连接 | 第24-25页 |
| ·运用阳极键合技术实现玻璃、硅与金属的多层连接 | 第25-26页 |
| ·与其它连接方法一起实现多层不同材料(元件)的连接 | 第26-27页 |
| ·阳极键合过程中尚待解决的问题 | 第27-28页 |
| ·关于阳极键合机理的研究 | 第27页 |
| ·改进工艺方法 | 第27-28页 |
| ·残余应力与变形行为的模拟研究 | 第28页 |
| ·本研究主要内容和学术思想 | 第28-31页 |
| 第二章 玻璃与铝阳极键合及界面形成机理分析 | 第31-55页 |
| 引言 | 第31页 |
| ·试验材料及试验方法 | 第31-35页 |
| ·试验材料 | 第31-32页 |
| ·试验设备及方法 | 第32-35页 |
| ·玻璃/铝阳极键合试验 | 第35-42页 |
| ·试验过程 | 第35-36页 |
| ·试验结果与分析 | 第36-42页 |
| ·离子迁移与电流—时间特性 | 第36-39页 |
| ·键合界面微观结构分析 | 第39-40页 |
| ·界面结合率及其影响因素 | 第40-42页 |
| ·玻璃与铝多层阳极键合技术及界面形成机理 | 第42-54页 |
| ·阳极键合工艺试验 | 第42-43页 |
| ·键合界面微观结构特征及形成机理分析 | 第43-47页 |
| ·键合界面形成工艺因素分析 | 第47-51页 |
| ·极化电流及静电力 | 第47-49页 |
| ·键合影响因素 | 第49-51页 |
| ·力学性能分析 | 第51-54页 |
| 本章小结 | 第54-55页 |
| 第三章 玻璃(陶瓷)与金属阳极键合试验及界面微观结构 | 第55-82页 |
| 引言 | 第55页 |
| ·试验材料及试验方法 | 第55-61页 |
| ·试验材料 | 第55-58页 |
| ·可伐(Kovar)合金 | 第55-56页 |
| ·β″-Al_2O_3陶瓷 | 第56-57页 |
| ·Y_2O_3稳定的ZrO_2陶瓷 | 第57-58页 |
| ·Y-ZrO_2材料表面活化处理 | 第58-61页 |
| ·键合工艺试验 | 第61页 |
| ·玻璃/Kovar合金阳极键合结果分析 | 第61-68页 |
| ·键合界面微观分析 | 第61-65页 |
| ·键合界面连接质量分析 | 第65-67页 |
| ·键合界面过渡层形成分析 | 第67-68页 |
| ·电解质陶瓷与铝阳极键合结果分析 | 第68-80页 |
| ·工艺参数对键合过程的影响 | 第68-71页 |
| ·结合区微观组织特征 | 第71-78页 |
| ·β″-Al_2O_3/Al键合界面微观分析 | 第71-75页 |
| ·ZrO_2/Al键合界面微观结构 | 第75-78页 |
| ·电解质陶瓷与铝键合界面结合机理分析 | 第78-80页 |
| ·离子迁移及界面氧化物形成 | 第78-80页 |
| ·界面扩散及氧化物化合 | 第80页 |
| 本章小结 | 第80-82页 |
| 第四章 玻璃(陶瓷)与金属阳极键合过程的若干问题 | 第82-101页 |
| 引言 | 第82页 |
| ·键合材料之间紧密接触的形成 | 第82-85页 |
| ·离子运动与离子耗尽层的形成 | 第85-87页 |
| ·阳极键合过程电特性的物理模拟 | 第87-91页 |
| ·界面电化学反应 | 第91-94页 |
| ·界面离子扩散及阳极氧化反应 | 第91-92页 |
| ·固相反应及扩散过渡层形成 | 第92-94页 |
| ·界面扩散动力学 | 第94-97页 |
| ·界面扩散的边界条件 | 第94页 |
| ·界面扩散的动力学 | 第94-96页 |
| ·在阳极键合工艺参数下的扩散 | 第96-97页 |
| ·界面反应热力学 | 第97-99页 |
| ·Gibbe自由焓及反应平衡常数 | 第97-98页 |
| ·界面反应过程的热力学分析 | 第98-99页 |
| 本章小结 | 第99-101页 |
| 第五章 玻璃与金属阳极键合接头力学分析 | 第101-144页 |
| 引言 | 第101页 |
| ·弹塑性有限元分析概述 | 第101-103页 |
| ·增量理论的基本准则 | 第101-102页 |
| ·弹塑性应力应变增量关系 | 第102页 |
| ·弹塑性问题的求解 | 第102-103页 |
| ·玻璃与铝、玻璃与Kovar合金阳极键合过程MARC分析 | 第103-108页 |
| ·前处理模型的建立 | 第103-107页 |
| ·有限元求解 | 第107页 |
| ·有限元计算结果的后处理 | 第107-108页 |
| ·玻璃/铝阳极键合过程力学分析结果与讨论 | 第108-119页 |
| ·残余变形 | 第108-112页 |
| ·残余应力和应变 | 第112-117页 |
| ·各参数随冷却时间的变化 | 第117-119页 |
| ·玻璃/铝/玻璃阳极键合过程力学分析结果与讨论 | 第119-131页 |
| ·残余变形 | 第119-123页 |
| ·残余应变 | 第123-124页 |
| ·残余应力 | 第124-129页 |
| ·各参数随冷却时间的变化 | 第129-131页 |
| ·玻璃/Kovar合金阳极键合过程力学分析结果与讨论 | 第131-142页 |
| ·残余变形 | 第131-135页 |
| ·残余应力和应变 | 第135-140页 |
| ·各参数随冷却时间的变化 | 第140-142页 |
| 本章小结 | 第142-144页 |
| 结论 | 第144-146页 |
| 参考文献 | 第146-155页 |
| 致谢 | 第155-156页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第156-158页 |
