| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 1 绪论 | 第11-38页 |
| ·镁合金表面处理简述 | 第11-12页 |
| ·等离子体微弧氧化 | 第11页 |
| ·激光表面处理 | 第11-12页 |
| ·磁控溅射工艺的形成与发展 | 第12-14页 |
| ·直流反应磁控溅射研究新进展 | 第14-18页 |
| ·非平衡磁控溅射 | 第14-15页 |
| ·非平衡磁控溅射离子镀 | 第15-16页 |
| ·脉冲直流磁控溅射 | 第16-17页 |
| ·薄膜的结构 | 第17-18页 |
| ·直流磁控溅射沉积的基本原理 | 第18-29页 |
| ·等离子体辉光放电的基本参量 | 第18-19页 |
| ·磁控辉光放电条件下的离子行为 | 第19-20页 |
| ·溅射机理 | 第20-22页 |
| ·磁控等离子体放电特征 | 第22-24页 |
| ·靶表面氮化物反应动力学 | 第24-29页 |
| ·多晶涂层的结构演化 | 第29-36页 |
| ·形核与界面粗化 | 第30-32页 |
| ·薄膜生长 | 第32-36页 |
| ·研究工作的目的和意义 | 第36-37页 |
| ·本文的结构及主要研究内容 | 第37-38页 |
| 2 实验装置和实验方法 | 第38-50页 |
| ·样品制备装置 | 第38-41页 |
| ·直流平面磁控溅射沉积机 | 第38-39页 |
| ·非平衡闭合磁场磁控溅射离子沉积机 | 第39-41页 |
| ·厚度的测量 | 第41-42页 |
| ·机械性能检测方法 | 第42-45页 |
| ·结合性能的测量 | 第42-43页 |
| ·涂层硬度的测量 | 第43-44页 |
| ·摩擦和磨损的测量 | 第44-45页 |
| ·结构与特性的分析方法 | 第45-50页 |
| ·薄膜X 射线衍射 | 第45-46页 |
| ·表面和断面形貌分析 | 第46页 |
| ·截面分析 | 第46-47页 |
| ·化学态和成分分析 | 第47-48页 |
| ·粒度与表面轮廓分析 | 第48-50页 |
| 3 磁控溅射沉积CRN_X 涂层的动力学与结构控制 | 第50-71页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·实验过程描述 | 第50-52页 |
| ·靶表面的反应及过程控制 | 第52-55页 |
| ·φ(N_2)和放电电压的控制 | 第52页 |
| ·靶表面的溅蚀形貌特征 | 第52-54页 |
| ·靶表面的反应 | 第54-55页 |
| ·CRN_X涂层形成的热动力学 | 第55-60页 |
| ·衬底界面的反应动力学 | 第56-59页 |
| ·涂层成分与相的控制 | 第59-60页 |
| ·CRN_X涂层的结构与特性分析 | 第60-68页 |
| ·CrN_x 涂层的表面化学态 | 第60-62页 |
| ·CrN_x 涂层的结构分析 | 第62-67页 |
| ·CrN 涂层的断面形貌特征 | 第67-68页 |
| ·讨论 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 4 CRN_X 涂层在镁合金表面的沉积特性 | 第71-98页 |
| ·引言 | 第71-72页 |
| ·实验描述 | 第72页 |
| ·N_2 含量对CRN_X涂层结构特性的影响 | 第72-79页 |
| ·φ(N_2)对衬底温度的影响 | 第72-73页 |
| ·CrN_x 涂层的化学态分析 | 第73-76页 |
| ·CrN_x 涂层的结构分析 | 第76页 |
| ·CrN_x 涂层的表面和断面的结构演化 | 第76-79页 |
| ·CRN 涂层的晶粒生长 | 第79-89页 |
| ·结构分析 | 第80-81页 |
| ·CrN 涂层的表面和断面分析 | 第81-82页 |
| ·CrN 涂层的晶粒生长分析 | 第82-84页 |
| ·Cr 膜柱状晶的形成特征 | 第84-89页 |
| ·涂层表面轮廓的演化 | 第89-95页 |
| ·表面轮廓演化的基本概念与模型 | 第89-90页 |
| ·衬底对表面轮廓的影响 | 第90-93页 |
| ·表面二维轮廓的演化 | 第93-94页 |
| ·表面粗糙度 | 第94-95页 |
| ·讨论 | 第95-97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 5 CRN_XO_YC_Z 涂层的特性和CRTIALN 涂层的沉积 | 第98-121页 |
| ·引言 | 第98-99页 |
| ·实验过程 | 第99页 |
| ·CRN_XO_YC_Z涂层的结构特性 | 第99-111页 |
| ·成分分析 | 第99-102页 |
| ·结构分析 | 第102页 |
| ·形貌分析 | 第102-103页 |
| ·化学态分析 | 第103-108页 |
| ·价带谱分析 | 第108-110页 |
| ·CrN_xO_yC_z 涂层的摩擦学特性 | 第110-111页 |
| ·CrTiAlN 涂层的结构与特性 | 第111-118页 |
| ·成分与化学态 | 第111-114页 |
| ·界面的截面形貌分析 | 第114-116页 |
| ·衬底对表面形貌的影响 | 第116-117页 |
| ·CrTiAlN 涂层的摩擦学特性 | 第117-118页 |
| ·讨论 | 第118-120页 |
| ·本章小结 | 第120-121页 |
| 6 CrTiAlN 涂层在镁合金上的结构与摩擦学特性 | 第121-151页 |
| ·引言 | 第121页 |
| ·实验过程 | 第121-122页 |
| ·N 含量对 CrTiAlN 涂层的结构与摩擦学特性的影响 | 第122-133页 |
| ·成分分析 | 第122-123页 |
| ·化学态分析 | 第123-126页 |
| ·界面与形貌的分析 | 第126-128页 |
| ·结合与磨损性能 | 第128-131页 |
| ·机械性能 | 第131-133页 |
| ·摩擦学特性 | 第133页 |
| ·偏压对 CrTiAlN 涂层的结构与摩擦学特性的影响 | 第133-142页 |
| ·成分分析 | 第134-136页 |
| ·化学态分析 | 第136-137页 |
| ·结构特性 | 第137-138页 |
| ·断面和表面形貌 | 第138-140页 |
| ·结合与磨损特性 | 第140-141页 |
| ·摩擦系数 | 第141-142页 |
| ·CrTiAlN-MoS_2 涂层的摩擦学特性 | 第142-147页 |
| ·界面结构 | 第144页 |
| ·摩擦系数 | 第144-146页 |
| ·磨损性能 | 第146-147页 |
| ·讨论 | 第147-150页 |
| ·本章小结 | 第150-151页 |
| 7 结论 | 第151-153页 |
| 致谢 | 第153-155页 |
| 参考文献 | 第155-175页 |
| 附录 | 第175页 |
| A. 在攻读博士学位论文期间发表的论文 | 第175页 |
| B. 评审论文 | 第175页 |
