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磁驱动微机械的制备研究

提要第1-6页
第1章 绪论第6-19页
   ·飞秒激光微纳加工在微结构制备中的发展现状第6-10页
   ·微机械器件的驱动方式第10-17页
     ·电驱动第10-14页
     ·光驱动第14-17页
   ·研究意义及实验设计第17-19页
第2章 基本原理第19-26页
   ·磁性纳米粒子的制备与研究第19-22页
   ·飞秒激光微纳加工基本原理第22-26页
第3章 制备具有磁性的微机械第26-42页
   ·含有磁性材料光刻胶的合成第27-31页
     ·化学共沉淀法制备粒子第27-28页
     ·性质测试第28-30页
     ·合成含有四氧化三铁的光刻胶第30-31页
   ·微机械的加工第31-36页
     ·飞秒激光的加工系统及光路搭建要求第31-33页
     ·双光子聚合飞秒激光三维微纳加工技术要求第33-34页
     ·工艺参数实验第34-36页
   ·微谐振子系统的加工及驱动第36-42页
第4章 结论第42-43页
参考文献第43-46页
研究生期间发表的学术论文第46-47页
致谢第47-48页
摘要第48-50页
ABSTRACT第50-52页

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