| 提要 | 第1-6页 |
| 第1章 绪论 | 第6-19页 |
| ·飞秒激光微纳加工在微结构制备中的发展现状 | 第6-10页 |
| ·微机械器件的驱动方式 | 第10-17页 |
| ·电驱动 | 第10-14页 |
| ·光驱动 | 第14-17页 |
| ·研究意义及实验设计 | 第17-19页 |
| 第2章 基本原理 | 第19-26页 |
| ·磁性纳米粒子的制备与研究 | 第19-22页 |
| ·飞秒激光微纳加工基本原理 | 第22-26页 |
| 第3章 制备具有磁性的微机械 | 第26-42页 |
| ·含有磁性材料光刻胶的合成 | 第27-31页 |
| ·化学共沉淀法制备粒子 | 第27-28页 |
| ·性质测试 | 第28-30页 |
| ·合成含有四氧化三铁的光刻胶 | 第30-31页 |
| ·微机械的加工 | 第31-36页 |
| ·飞秒激光的加工系统及光路搭建要求 | 第31-33页 |
| ·双光子聚合飞秒激光三维微纳加工技术要求 | 第33-34页 |
| ·工艺参数实验 | 第34-36页 |
| ·微谐振子系统的加工及驱动 | 第36-42页 |
| 第4章 结论 | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-46页 |
| 研究生期间发表的学术论文 | 第46-47页 |
| 致谢 | 第47-48页 |
| 摘要 | 第48-50页 |
| ABSTRACT | 第50-52页 |