提要 | 第1-6页 |
第1章 绪论 | 第6-19页 |
·飞秒激光微纳加工在微结构制备中的发展现状 | 第6-10页 |
·微机械器件的驱动方式 | 第10-17页 |
·电驱动 | 第10-14页 |
·光驱动 | 第14-17页 |
·研究意义及实验设计 | 第17-19页 |
第2章 基本原理 | 第19-26页 |
·磁性纳米粒子的制备与研究 | 第19-22页 |
·飞秒激光微纳加工基本原理 | 第22-26页 |
第3章 制备具有磁性的微机械 | 第26-42页 |
·含有磁性材料光刻胶的合成 | 第27-31页 |
·化学共沉淀法制备粒子 | 第27-28页 |
·性质测试 | 第28-30页 |
·合成含有四氧化三铁的光刻胶 | 第30-31页 |
·微机械的加工 | 第31-36页 |
·飞秒激光的加工系统及光路搭建要求 | 第31-33页 |
·双光子聚合飞秒激光三维微纳加工技术要求 | 第33-34页 |
·工艺参数实验 | 第34-36页 |
·微谐振子系统的加工及驱动 | 第36-42页 |
第4章 结论 | 第42-43页 |
参考文献 | 第43-46页 |
研究生期间发表的学术论文 | 第46-47页 |
致谢 | 第47-48页 |
摘要 | 第48-50页 |
ABSTRACT | 第50-52页 |