| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-28页 |
| ·课题背景及研究的目的和意义 | 第15-16页 |
| ·超光滑表面加工技术的发展概况 | 第16-25页 |
| ·直接接触抛光 | 第17-19页 |
| ·非接触抛光 | 第19-23页 |
| ·准接触抛光 | 第23-24页 |
| ·各种加工方法的加工极限 | 第24-25页 |
| ·纳米颗粒胶体抛光液的研究进展 | 第25-26页 |
| ·纳米颗粒胶体射流抛光方法的提出 | 第26-27页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第27-28页 |
| 第2章 纳米颗粒胶体射流抛光机理的理论研究 | 第28-54页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·量子化学计算理论基础 | 第28-30页 |
| ·第一性原理从头计算(ab initio)方法 | 第28-29页 |
| ·Hartree-Fock 自洽场方法 | 第29-30页 |
| ·密度泛函理论 | 第30页 |
| ·纳米颗粒胶体射流抛光反应机理的理论分析 | 第30-35页 |
| ·固体的表面结构及其在胶体中的吸附 | 第30-32页 |
| ·胶体中纳米颗粒的表面吸附 | 第32-33页 |
| ·纳米颗粒胶体射流抛光机理 | 第33-35页 |
| ·纳米颗粒胶体射流抛光模型的建立和计算方法 | 第35-38页 |
| ·量子化学计算模型的建立 | 第35-38页 |
| ·计算方法 | 第38页 |
| ·量子化学模拟计算结果及讨论 | 第38-51页 |
| ·工件表面上 OH-离子的化学吸附 | 第38-44页 |
| ·吸附 OH-离子的表面原子与二氧化硅团簇的化学反应 | 第44-48页 |
| ·与二氧化硅团簇的化学反应后表面原子的去除过程 | 第48-51页 |
| ·流动胶体中的纳米颗粒所受的粘滞作用力分析 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第3章 纳米颗粒胶体流变特性及射流流体动力学仿真 | 第54-78页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·纳米颗粒胶体的流变特性 | 第54-59页 |
| ·非牛顿流体的分类 | 第54-56页 |
| ·纳米颗粒胶体的本构方程 | 第56-59页 |
| ·纳米颗粒胶体射流湍流模型及多项流模型的控制方程 | 第59-62页 |
| ·纳米颗粒胶体射流湍流模型及其控制方程 | 第59-61页 |
| ·纳米颗粒胶体多相流模型及其控制方程 | 第61-62页 |
| ·流体动力学仿真及分析 | 第62-74页 |
| ·问题原型及计算方法 | 第62页 |
| ·边界条件及网格划分 | 第62-64页 |
| ·模拟结果 | 第64-73页 |
| ·分析及讨论 | 第73-74页 |
| ·纳米颗粒胶体射流流场分布对其加工影响的试验验证 | 第74-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第4章 纳米颗粒胶体射流抛光试验装置的研制 | 第78-90页 |
| ·引言 | 第78页 |
| ·纳米颗粒胶体射流抛光系统的原理与组成 | 第78-85页 |
| ·纳米颗粒胶体射流抛光系统的总体方案设计 | 第78-80页 |
| ·纳米颗粒胶体射流抛光系统的研制 | 第80-85页 |
| ·纳米颗粒胶体射流抛光系统及其工艺流程 | 第85-88页 |
| ·纳米颗粒胶体射流抛光系统可靠性测试 | 第88-89页 |
| ·本章小结 | 第89-90页 |
| 第5章 纳米颗粒胶体射流抛光的试验验证及工艺研究 | 第90-113页 |
| ·引言 | 第90页 |
| ·胶体中纳米颗粒与工件表面相互作用的试验验证 | 第90-97页 |
| ·红外光谱测量方法简介 | 第90-91页 |
| ·与胶体中纳米颗粒反应后工件表面化学成分的改变 | 第91-94页 |
| ·纳米颗粒与工件表面反应后纳米颗粒的红外漫反射光谱研究 | 第94-97页 |
| ·纳米颗粒胶体射流抛光中材料去除的工艺试验研究 | 第97-102页 |
| ·纳米颗粒胶体射流抛光的主要工艺参数 | 第97-98页 |
| ·纳米颗粒胶体pH 值对加工的影响 | 第98-99页 |
| ·纳米颗粒胶体浓度对加工的影响 | 第99-100页 |
| ·纳米颗粒胶体射流压强对加工的影响 | 第100-102页 |
| ·纳米颗粒胶体射流抛光超光滑表面 | 第102-111页 |
| ·纳米颗粒胶体射流抛光超光滑表面粗糙度分析 | 第102-106页 |
| ·纳米颗粒胶体射流抛光超光滑表面纳米压痕力学分析 | 第106-107页 |
| ·纳米颗粒胶体射流抛光超光滑表面功率谱密度分析 | 第107-111页 |
| ·纳米颗粒胶体射流抛光的抛光性能及其影响因素分析 | 第111-112页 |
| ·本章小结 | 第112-113页 |
| 结论 | 第113-115页 |
| 参考文献 | 第115-124页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第124-127页 |
| 致谢 | 第127-128页 |
| 个人简历 | 第128页 |