氮化铝声表面波器件及其在温度传感中的应用
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-31页 |
| 1.1 声表面波 | 第11-12页 |
| 1.2 两种基本结构的声表面波器件 | 第12-21页 |
| 1.2.1 声表面波延迟线 | 第12-16页 |
| 1.2.2 声表面波单端口谐振器 | 第16-21页 |
| 1.3 表面声子晶体 | 第21-23页 |
| 1.3.1 声子晶体 | 第21页 |
| 1.3.2 表面声子晶体 | 第21-23页 |
| 1.4 压电材料的重要参数 | 第23-26页 |
| 1.4.1 声表面波的速度 | 第24页 |
| 1.4.2 机电耦合系数 | 第24-25页 |
| 1.4.3 温度系数 | 第25页 |
| 1.4.4 传播损耗 | 第25-26页 |
| 1.5 AlN材料 | 第26-28页 |
| 1.5.1 AlN材料的基本性质 | 第26-27页 |
| 1.5.2 品质因数的上限 | 第27-28页 |
| 1.6 本论文工作的意义与内容 | 第28-31页 |
| 1.6.1 工作的意义 | 第28-29页 |
| 1.6.2 内容与安排 | 第29-31页 |
| 第二章 器件的制作工艺与表征工具 | 第31-37页 |
| 2.1 紫外光刻技术 | 第31-32页 |
| 2.2 电极的制作工艺 | 第32页 |
| 2.3 网络分析仪 | 第32-36页 |
| 2.3.1 网络分析仪测量原理 | 第33-34页 |
| 2.3.2 提高动态范围 | 第34-35页 |
| 2.3.3 网络分析仪的校准 | 第35-36页 |
| 2.4 衬底材料性质的表征工具 | 第36-37页 |
| 第三章 单端口二维表面声子晶体谐振器 | 第37-55页 |
| 3.1 引言 | 第37-38页 |
| 3.2 实验设计 | 第38-40页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第40-53页 |
| 3.3.1 谐振器的频率响应 | 第40-49页 |
| 3.3.2 谐振器作为温度传感器 | 第49-53页 |
| 3.4 本章总结 | 第53-55页 |
| 第四章 声表面波各项异性的研究 | 第55-75页 |
| 4.1 引言 | 第55-56页 |
| 4.2 实验设计 | 第56-57页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第57-73页 |
| 4.3.1 声表面波的各项异性 | 第57-66页 |
| 4.3.2 基于各向异性的温度传感器 | 第66-70页 |
| 4.3.3 声表面波延迟线型振荡器 | 第70-73页 |
| 4.4 本章总结 | 第73-75页 |
| 第五章 高品质因数的单端口声表面波谐振器 | 第75-85页 |
| 5.1 引言 | 第75-76页 |
| 5.2 传播损耗的理论分析 | 第76-80页 |
| 5.3 实验设计 | 第80-81页 |
| 5.4 结果与讨论 | 第81-83页 |
| 5.4.1 谐振器的品质因数 | 第81-83页 |
| 5.4.2 谐振器的温度特性 | 第83页 |
| 5.5 本章总结 | 第83-85页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第85-87页 |
| 6.1 全文总结 | 第85-86页 |
| 6.2 展望 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-93页 |
| 致谢 | 第93-95页 |
| 在读期间发表的学术论文 | 第95页 |
