| 致谢 | 第6-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| abstract | 第9-10页 |
| 1 绪论 | 第16-24页 |
| 1.1 选题背景和意义 | 第16-17页 |
| 1.2 国内外研究现状与发展趋势 | 第17-24页 |
| 1.2.1 气体轴承分类及其特性 | 第17-18页 |
| 1.2.2 常压下气体静压轴承动静态性能研究 | 第18-20页 |
| 1.2.3 真空静压气体轴承和性能研究 | 第20-22页 |
| 1.2.4 气体运动统一算法的发展 | 第22-23页 |
| 1.2.5 论文主要研究内容与章节安排 | 第23-24页 |
| 2 真空中静压气体轴承模型 | 第24-37页 |
| 2.1 真空中轴承流场特性及结构 | 第24-25页 |
| 2.2 轴承压力分布分析与理论计算 | 第25-26页 |
| 2.3 轴承气膜压力分布、承载力、刚度的计算 | 第26-30页 |
| 2.4 轴承泄漏求解分析 | 第30-36页 |
| 2.4.1 轴承密封区讨论与假设 | 第30-31页 |
| 2.4.2 流导和泄漏量计算 | 第31-36页 |
| 2.5 小结 | 第36-37页 |
| 3 流导分层流态模型验证 | 第37-43页 |
| 3.1 气膜内轴向速度滑移模型的对比分析 | 第37-40页 |
| 3.2 分层模型和DSMC算法对过渡流和分子流的流场对比分析 | 第40-42页 |
| 3.2.1 DSMC算法简介 | 第40页 |
| 3.2.2 包含全流态径向辐射流模型的建立和结果对比 | 第40-42页 |
| 3.3 小结 | 第42-43页 |
| 4 轴承气体泄漏量、承载力和刚度的影响因素及性能优化 | 第43-57页 |
| 4.1 各参数对轴承泄漏量和流导的影响 | 第43-50页 |
| 4.1.1 轴承半径对轴承泄漏量和流导的影响 | 第43页 |
| 4.1.2 气膜厚度对轴承泄漏量和流导的影响 | 第43-44页 |
| 4.1.3 真空泵对轴承泄漏量的影响 | 第44-45页 |
| 4.1.4 排气槽数量对轴承泄漏量的影响 | 第45页 |
| 4.1.5 排气槽位置对轴承泄漏量的影响 | 第45-47页 |
| 4.1.6 排气槽宽度对轴承泄漏量的影响 | 第47-48页 |
| 4.1.7 气膜厚度对有槽轴承的影响 | 第48页 |
| 4.1.8 排气槽之间的间距对轴承泄露的影响 | 第48-49页 |
| 4.1.9 双槽轴承宽度对轴承泄漏量的影响 | 第49-50页 |
| 4.1.10 槽宽和槽位置双因素对轴承泄漏量的影响 | 第50页 |
| 4.2 轴承耗气量分析 | 第50-52页 |
| 4.3 轴承承载力和刚度性能分析与优化 | 第52-55页 |
| 4.4 小结 | 第55-57页 |
| 5 静压气体轴承性能检测试验 | 第57-64页 |
| 5.1 真空室结构仿真 | 第57-59页 |
| 5.2 真空室气密性计算 | 第59-61页 |
| 5.3 真空环境下轴承性能检测实验 | 第61-63页 |
| 5.3.1 气膜厚度对轴承性能影响与分析 | 第61-62页 |
| 5.3.2 随气膜厚度变化 | 第62-63页 |
| 5.4 总结 | 第63-64页 |
| 6 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 总结 | 第64-65页 |
| 6.2 展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 作者简介 | 第70页 |
