| 摘要 | 第9-10页 |
| ABSTRACT | 第10页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 石墨烯材料概述 | 第12-15页 |
| 1.2.1 石墨烯材料的发现 | 第12-13页 |
| 1.2.2 石墨烯的结构 | 第13-14页 |
| 1.2.3 石墨烯的性质 | 第14-15页 |
| 1.2.4 石墨烯的表征 | 第15页 |
| 1.3 加速度计简介 | 第15-18页 |
| 1.3.1 加速度计工作原理 | 第15-16页 |
| 1.3.2 加速度计的分类 | 第16-17页 |
| 1.3.3 加速度的应用与发展趋势 | 第17-18页 |
| 1.4 国内外研究现状 | 第18-22页 |
| 1.4.1 实验研究 | 第18-19页 |
| 1.4.2 数值仿真研究 | 第19-20页 |
| 1.4.3 理论研究 | 第20-22页 |
| 1.5 论文结构安排 | 第22-23页 |
| 第二章 谐振式石墨烯加速度计理论研究 | 第23-38页 |
| 2.1 谐振式石墨烯加速度计的工作机理 | 第23-26页 |
| 2.1.1 加速度计的系统结构与工作原理 | 第23-24页 |
| 2.1.2 检测与激励方式 | 第24-26页 |
| 2.2 基于应变梯度理论的石墨烯薄膜谐振特性 | 第26-34页 |
| 2.2.1 应变梯度理论简介 | 第26-27页 |
| 2.2.2 单层石墨烯薄膜谐振特性 | 第27-32页 |
| 2.2.3 分析与对比验证 | 第32-34页 |
| 2.3 基于应变梯度理论的石墨烯薄膜受力形变分析 | 第34-36页 |
| 2.3.1 石墨烯薄膜受力形变理论推导 | 第34-35页 |
| 2.3.2 模型计算及分析 | 第35-36页 |
| 2.4 本章小结 | 第36-38页 |
| 第三章 谐振式石墨烯加速度计的谐振特性 | 第38-52页 |
| 3.1 石墨烯谐振器谐振特性COMSOL仿真概述 | 第38-39页 |
| 3.1.1 仿真研究因素 | 第38页 |
| 3.1.2 COMSOL Multiphysics仿真软件简介 | 第38-39页 |
| 3.1.3 仿真条件设置 | 第39页 |
| 3.2 石墨烯薄膜尺寸对谐振频率的影响研究 | 第39-44页 |
| 3.2.1 无敏感质量块时边长尺寸分析 | 第39-42页 |
| 3.2.2 加载敏感质量块时边长尺寸分析 | 第42-44页 |
| 3.3 敏感质量块位置对谐振频率影响的仿真分析 | 第44-49页 |
| 3.3.1 对谐振频率的影响 | 第45-47页 |
| 3.3.2 对谐振模式的影响 | 第47-49页 |
| 3.4 敏感质量块尺寸对谐振频率的影响 | 第49-50页 |
| 3.4.1 敏感质量块边长尺寸对谐振特性的影响 | 第49-50页 |
| 3.4.2 敏感质量块厚度尺寸对谐振特性的影响 | 第50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-52页 |
| 第四章 外加载荷下石墨烯加速度计谐振特性分析 | 第52-64页 |
| 4.1 加速度的加载方式 | 第52页 |
| 4.2 外加载荷对谐振特性的影响 | 第52-57页 |
| 4.2.1 对外界载荷的敏感范围 | 第52-54页 |
| 4.2.2 不同石墨烯薄膜尺寸下,外加载荷的影响 | 第54-56页 |
| 4.2.3 不同敏感质量块尺寸下,外加载荷的影响 | 第56-57页 |
| 4.3 石墨烯谐振器对加速度的敏感精度分析 | 第57-62页 |
| 4.3.1 微米尺寸石墨烯谐振器对加速度敏感精度分析 | 第57-59页 |
| 4.3.2 弹性模量对敏感精度的影响 | 第59-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-64页 |
| 第五章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 5.1 本文完成的工作及研究结论 | 第64-65页 |
| 5.2 下一步研究计划 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 作者在求学期间取得的学术成果 | 第73页 |