基于激光衍射原理的金刚石刻刀对刀方法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题来源及研究意义 | 第9页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.1.2 课题研究意义 | 第9页 |
| 1.2 国内外对刀技术研究现状 | 第9-14页 |
| 1.2.1 接触式对刀方法的研究现状 | 第9-11页 |
| 1.2.2 非接触式对刀方法的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.3 国内外对刀间距测量方法的总结 | 第13-14页 |
| 1.3 激光衍射测量技术的研究现状 | 第14页 |
| 1.4 传统的激光衍射对刀方法介绍 | 第14-15页 |
| 1.5 本论文的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 激光衍射对刀间距测量原理与对刀样机的研制 | 第17-29页 |
| 2.1 激光衍射对刀间距测量理论 | 第17-23页 |
| 2.1.1 光学衍射理论分析 | 第17页 |
| 2.1.2 菲涅耳衍射原理 | 第17-19页 |
| 2.1.3 夫琅禾费衍射原理 | 第19-22页 |
| 2.1.4 衍射法测量对刀间距的原理 | 第22-23页 |
| 2.2 对刀样机的研制 | 第23-28页 |
| 2.2.1 对刀样机功能分析 | 第23-24页 |
| 2.2.2 激光衍射对刀样机建模 | 第24-25页 |
| 2.2.3 激光衍射对刀样机的工作原理 | 第25页 |
| 2.2.4 底座升降机构的设计 | 第25-26页 |
| 2.2.5 检测机构的设计 | 第26-27页 |
| 2.2.6 光轴偏转台的设计 | 第27-28页 |
| 2.3 对刀样机的搭建 | 第28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 对刀精度影响因素分析 | 第29-45页 |
| 3.1 入射激光倾斜的影响 | 第29-32页 |
| 3.1.1 入射激光倾斜误差计算模型 | 第30-31页 |
| 3.1.2 入射激光倾斜角度计算模型 | 第31-32页 |
| 3.2 CCD倾斜的影响 | 第32-34页 |
| 3.2.1 一级峰值点间距误差计算方法 | 第33-34页 |
| 3.2.2 CCD倾斜一级峰值点角度校正方法 | 第34页 |
| 3.3 矩孔倾斜的影响 | 第34-38页 |
| 3.3.1 矩孔倾斜方向判定与倾斜角度计算方法 | 第36-37页 |
| 3.3.2 矩孔倾斜的X轴一级峰值点误差补偿方法 | 第37-38页 |
| 3.4 激光衍射实验 | 第38-44页 |
| 3.4.1 入射激光倾斜角度校正方法的比较 | 第38-40页 |
| 3.4.2 入射激光倾斜实验 | 第40-41页 |
| 3.4.3 CCD倾斜实验 | 第41-43页 |
| 3.4.4 矩孔倾斜实验 | 第43-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 CCD错位成像实验 | 第45-51页 |
| 4.1 CCD传感器的构成 | 第45-46页 |
| 4.2 CCD错位成像的原理 | 第46-47页 |
| 4.3 CCD错位成像实验 | 第47-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 激光衍射对刀样机的精度标定 | 第51-57页 |
| 5.1 安装参数倾斜角度校正 | 第51-52页 |
| 5.2 对刀样机的精度标定 | 第52-56页 |
| 5.2.1 标准狭缝检测精度评估 | 第52-55页 |
| 5.2.2 对刀间距检测精度评估 | 第55-56页 |
| 5.3 激光衍射对刀方法总结 | 第56页 |
| 5.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第六章 结论与展望 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第62页 |
