基于超精密定位的固态纳米孔制备研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 纳米孔测序技术的发展 | 第9-13页 |
| 1.2.1 生物纳米孔 | 第9-11页 |
| 1.2.2 固态纳米孔 | 第11-13页 |
| 1.3 固态纳米孔制备技术 | 第13-18页 |
| 1.3.1 聚焦离子束/电子束雕刻法 | 第13-15页 |
| 1.3.2 湿法刻蚀法 | 第15-16页 |
| 1.3.3 电介质击穿法 | 第16-18页 |
| 1.4 研究意义及内容 | 第18-20页 |
| 第2章 用于固态纳米孔制备的操纵平台搭建 | 第20-30页 |
| 2.1 研究方案及实验平台 | 第20-24页 |
| 2.1.1 方案设计 | 第20-21页 |
| 2.1.2 实验平台结构介绍 | 第21页 |
| 2.1.3 微米级定位操纵 | 第21-23页 |
| 2.1.4 纳米级定位操纵 | 第23-24页 |
| 2.2 设备选型 | 第24-27页 |
| 2.2.1 显示模块 | 第24-25页 |
| 2.2.2 位移模块 | 第25-26页 |
| 2.2.3 纳米孔制备模块 | 第26-27页 |
| 2.3 平台搭建及调试 | 第27-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 固态纳米孔制备软件设计 | 第30-37页 |
| 3.1 软件需求分析 | 第30-31页 |
| 3.2 软件开发环境 | 第31-32页 |
| 3.2.1 LabVIEW介绍 | 第31页 |
| 3.2.2 SCPI命令体系 | 第31页 |
| 3.2.3 Keithley2450简介 | 第31-32页 |
| 3.3 软件设计 | 第32-35页 |
| 3.3.1 软件总体方案 | 第32页 |
| 3.3.2 电信号输出模块 | 第32-34页 |
| 3.3.3 数据显示模块 | 第34页 |
| 3.3.4 数据存储模块 | 第34-35页 |
| 3.4 软件校验 | 第35-36页 |
| 3.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 纳米孔的定位制备及WS2芯片的研制 | 第37-50页 |
| 4.1 实验材料 | 第37-38页 |
| 4.2 实验过程 | 第38-43页 |
| 4.2.1 芯片装配和电解质溶液添加 | 第38-39页 |
| 4.2.2 pipette定位调节 | 第39-41页 |
| 4.2.3 控制弯液面的形成 | 第41-42页 |
| 4.2.4 纳米孔制备 | 第42-43页 |
| 4.3 WS_2薄膜的生长和转移 | 第43-49页 |
| 4.3.1 WS_2薄膜生长方法及原理 | 第43-44页 |
| 4.3.2 实验设备及过程 | 第44页 |
| 4.3.3 实验结果及表征 | 第44-46页 |
| 4.3.4 转移过程 | 第46-47页 |
| 4.3.5 转移结果表征 | 第47-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 结论与展望 | 第50-52页 |
| 5.1 结论 | 第50页 |
| 5.2 展望 | 第50-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 附录 | 第57页 |
