| 中文摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 引言 | 第12页 |
| 1.2 纳米复合膜 | 第12-14页 |
| 1.3 纳米多层膜 | 第14-21页 |
| 1.3.1 研究背景 | 第15-16页 |
| 1.3.2 纳米多层膜的生长机制 | 第16-18页 |
| 1.3.3 致硬机理与设计思想 | 第18-21页 |
| 1.4 镁铝尖晶石(MgAl_2O_4)材料 | 第21-24页 |
| 1.4.1 晶体结构 | 第21-23页 |
| 1.4.2 应用领域与前景 | 第23-24页 |
| 1.4.2.1 MgAl_2O_4块体材料 | 第23页 |
| 1.4.2.2 MgAl_2O_4薄膜材料 | 第23-24页 |
| 1.5 选题依据和研究内容 | 第24-26页 |
| 第2章 样品的制备及表征 | 第26-34页 |
| 2.1 薄膜样品的制备 | 第26-28页 |
| 2.1.1 磁控溅射设备的工作原理 | 第26-27页 |
| 2.1.2 实验设备 | 第27页 |
| 2.1.3 纳米多层膜的制备方法 | 第27-28页 |
| 2.2 薄膜样品的表征 | 第28-32页 |
| 2.2.1 微观结构的表征 | 第28-31页 |
| 2.2.2 力学性能的表征 | 第31-32页 |
| 2.3 热稳定性与抗氧化性 | 第32-34页 |
| 2.3.1 热处理实验装置 | 第32-33页 |
| 2.3.2 实验过程 | 第33-34页 |
| 第3章 TiAlN/MgAl_2O_4纳米多层膜的微观结构、力学性能及热稳定性与抗氧化性研究 | 第34-52页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 实验设计与样品制备 | 第34-35页 |
| 3.3 MgAl_2O_4层厚度对多层膜微观结构和力学性能的影响 | 第35-45页 |
| 3.3.1 单层膜的结构 | 第35-36页 |
| 3.3.2 多层膜的结构 | 第36-42页 |
| 3.3.3 多层膜的硬度 | 第42-45页 |
| 3.3.4 多层膜的韧性 | 第45页 |
| 3.4 热稳定性 | 第45-49页 |
| 3.5 抗氧化性 | 第49-50页 |
| 3.6 本章小结 | 第50-52页 |
| 第4章 VN/MgAl_2O_4纳米多层膜的微观结构、力学性能及热稳定性研究 | 第52-66页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 实验设计与样品制备 | 第52-53页 |
| 4.3 MgAl_2O_4层厚度对多层膜微观结构和力学性能的影响 | 第53-59页 |
| 4.3.1 微观结构 | 第53-56页 |
| 4.3.2 力学性能 | 第56-59页 |
| 4.4 热稳定性 | 第59-63页 |
| 4.5 本章小结 | 第63-66页 |
| 第5章 本文总结 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-78页 |
| 作者简介 | 第78-79页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文及申请专利 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
