| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-26页 |
| 1.1 前言 | 第9-10页 |
| 1.2 氧传感器的分类 | 第10-15页 |
| 1.3 氧敏元件的特性参数 | 第15页 |
| 1.4 薄膜制备技术概述 | 第15-18页 |
| 1.5 二氧化钛基氧敏材料 | 第18-24页 |
| 1.6 选题依据和研究思路 | 第24-26页 |
| 2 实验部分 | 第26-37页 |
| 2.1 主要试剂、仪器及表征方法 | 第26-28页 |
| 2.2 薄膜的制备 | 第28-34页 |
| 2.3 TiO_2薄膜氧敏性能的测试 | 第34-37页 |
| 3 TiO_2基多孔薄膜结构表征 | 第37-45页 |
| 3.1 二氧化钛基多孔薄膜的 XRD 分析 | 第37-38页 |
| 3.2 二氧化钛基多孔薄膜表明形貌 FESEM 分析 | 第38-42页 |
| 3.3 Nb 掺杂二氧化钛多孔薄膜 EDS 分析 | 第42-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 4 纯 TiO_2及 Nb 掺杂 TiO_2多孔薄膜氧敏性能的研究 | 第45-55页 |
| 4.1 纯 TiO_2多孔薄膜的氧敏性能 | 第45-47页 |
| 4.2 Nb 掺杂 TiO_2多孔薄膜的氧敏性能 | 第47-54页 |
| 4.3 本章小结 | 第54-55页 |
| 5 结论 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 附录 | 第62页 |