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基于远场光学的高分辨率激光探针仪研究

摘要第4-5页
Abstract第5页
1 绪论第9-20页
    1.1 激光探针技术简介第9-12页
    1.2 激光探针光学系统的研究现状第12-18页
    1.3 本课题的来源、目的及意义第18页
    1.4 本论文的主要内容第18-20页
2 远场光学激光探针仪的整体设计方案第20-28页
    2.1 远场光学激光探针仪光路系统的设计思路第20-23页
    2.2 远场光学激光探针仪的系统结构与工作原理第23-27页
    2.3 本章小结第27-28页
3 远场光学激光探针仪的光机系统设计第28-37页
    3.1 光机设计软件第28-29页
    3.2 基于 SolidWorks 软件的激光探针光机系统设计第29-33页
    3.3 基于 ZEMAX 软件的激光探针光学系统分析第33-36页
    3.4 本章小结第36-37页
4 远场光学激光探针仪的性能评价与实验研究第37-51页
    4.1 远场光学激光探针仪实验平台第37-39页
    4.2 远场光学激光探针仪的分辨率研究第39-46页
    4.3 远场光学激光探针仪同轴监测系统的性能评价第46-47页
    4.4 远场光学激光探针仪的光谱采集性能研究第47-50页
    4.5 本章小结第50-51页
5 结论与展望第51-53页
    5.1 结论第51页
    5.2 展望第51-53页
致谢第53-55页
参考文献第55-59页
附录 1 攻读硕士学位期间申请的专利目录第59-60页
附录 2 攻读硕士期间设计的宏观激光探针工程化示范样机第60页

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